Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9257351 à vendre en France

ID: 9257351
Film thickness measurement systems.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie qui permet une mesure de haute précision des dispositifs semi-conducteurs. KLA Optiprobe 2600 fournit en temps réel, la métrologie bord-à-bord des wafer semiconducteurs et des caractéristiques au niveau de la matrice. Ce système dispose d'une scène de 8 pouces qui peut accueillir jusqu'à 200 mm wafer. Sa scatterométrie optique utilisant une technique sèche couplée à une méthode de nettoyage chimique unique, éliminant le besoin d'une unité d'immersion liquide. TENCOR Optiprobe 2600 comprend un contrôleur d'étage pour contrôler avec précision le mouvement de la plaquette dans les axes x, y et z. Il intègre également un mode de cartographie haute résolution qui permet des mesures extrêmement détaillées. La machine d'imagerie intégrée fournit une optique supérieure avec des capacités d'éclairage, de luminosité, de champ sombre et d'imagerie oblique. L'imageur fournit une résolution de 13 mégapixels et une pixilation supérieure à un micron pour des résultats d'imagerie détaillés. THERMA-WAVE Optiprobe 2600 dispose d'un logiciel « intelligent » qui optimise automatiquement les étalonnages des outils, optimise les paramètres de test et aligne en temps réel les fonctionnalités. Cet outil permet également aux utilisateurs d'accéder aux données et aux rapports historiques, ainsi qu'à la visualisation des données en temps réel. Les capacités avancées d'analyse des données permettent aux utilisateurs de déterminer avec précision la performance du processus en fonction de la taille, de la forme et de l'emplacement des fonctionnalités. Optiprobe 2600 est un atout de métrologie et de mesure idéal pour les utilisateurs nécessitant des performances élevées, une grande précision et une répétabilité supérieure. Ce modèle fournit des résultats de mesure fiables avec un haut degré de répétabilité. En outre, une large gamme de tailles de plaquettes et de revêtements chimiques peuvent être accueillis, ce qui rend cet équipement adapté à une variété d'applications. Avec des capacités d'automatisation avancées, la minimisation du temps d'intervention manuelle et le fonctionnement intuitif du logiciel, KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600 est un excellent choix pour les essais de plaquettes semi-conductrices et les opérations de métrologie.
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