Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 #9124948 à vendre en France
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ID: 9124948
Taille de la plaquette: 4"-8"
Thin film measurement system, 4"-8"
(2) Cassette loader stations
Beam Profile Reflectrometry (BPR):
Thick dielectric films > 500A
Beam Profile Ellipsometry (BPE):
Thin dielectric films < 500A
Thermo electrically cooled diode laser: 675 nm
Tungsten halogen lamp for spectrometry mode: 450 to 840 nm
Spectrometry:
Index films:
C-Si
Poly-Si
A-Si
Spot size: 0.9 Micron
Optical parameters:
Film thickness multiple layers
Wide range thick and thin films
Wide range index of refractions
Extinction coefficient and reflectivity measurements
Multi-layer and multi-parameter measurements:
Thin ONO
OPO Film stacks.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour évaluer avec précision la qualité et l'uniformité des dispositifs semi-conducteurs. Ce système fournit des mesures complètes d'une grande variété de paramètres de l'appareil à travers la plaquette avec une grande précision, vitesse et précision. KLA OPTIPROBE 3290 se compose d'un module de microscope optique 3290 et d'une unité de manutention automatisée des plaquettes 3200. Le microscope 3290 fournit des informations diagnostiques puissantes avec une optique améliorée, une résolution améliorée et un grand champ de vision. La machine de manutention automatisée des plaquettes 3200 offre un débit et une précision de pointe dans l'industrie, ce qui permet un débit d'échantillon élevé. L'Optiprobe 3290 offre la capacité de mesurer la taille critique de l'appareil, l'angle de flanc, l'arrondi d'angle, la forme, la rugosité de la largeur de ligne, et plus encore. Cet outil offre une résolution supérieure pour capturer les plus petites différences dans les fonctionnalités de l'appareil. Il offre également une sensibilité accrue pour mesurer avec précision les nanostructures. De plus, le 3290 est optimisé pour la métrologie sans contact et sans contact, permettant de mesurer et de profiler avec précision même les géométries les plus difficiles. TENCOR OPTIPROBE 3290 offre également les capacités d'imagerie les plus avancées de l'industrie, y compris la profondeur de champ étendue et l'imagerie de points 3D. Cet actif comprend des algorithmes exclusifs d'acquisition et de traitement d'images KLA qui fournissent une précision et une résolution améliorées pour les applications d'imagerie les plus difficiles. OPTIPROBE 3290 fournit un contrôle automatisé des défauts, permettant une correction rapide des défauts pour une meilleure qualité. Le 3290 offre une interface d'examen interactive et des options de rapport personnalisables, permettant aux utilisateurs de comparer les résultats de différents endroits de la plaquette. En combinant le microscope 3290 avec le modèle de manutention automatisé des plaquettes 3200, la production de semi-conducteurs de volume moyen et les opérations de caractérisation des dispositifs peuvent bénéficier d'une augmentation du débit, de la précision et d'une amélioration de la qualité des plaquettes. THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 fournit aux utilisateurs la précision, la résolution et la flexibilité dont ils ont besoin pour réussir dans la fabrication de semi-conducteurs.
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