Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5340 #9399017 à vendre en France

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5340
ID: 9399017
Taille de la plaquette: 8"
Film thickness measurement system, 8".
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5340 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour une grande précision, débit et flexibilité. Le système offre les meilleures performances pour les applications avancées de métrologie et de détection de défauts. Il est capable d'un alignement automatisé de plaquettes sur plaquettes et d'une imagerie optique à grand champ sans contact, fournissant une vue non destructive de la surface de chaque plaquette afin d'identifier les défauts, d'analyser et de mesurer les propriétés critiques. KLA Optiprobe 5340 est équipé d'un étage de métrologie avancé, offrant un alignement rapide et précis des plaquettes et un balayage de haute précision. L'unité permet le pré-alignement de plusieurs substrats, de sorte qu'une carte de l'ensemble de la plaquette peut être créée dans les plus brefs délais. La machine dispose également d'une grande variété d'instruments de test et de mesure, y compris des microscopes à lumière, des caméras CCD et des spectrographes, pour une utilisation dans la cartographie et l'analyse avancées des plaquettes. La plate-forme optique TENCOR Optiprobe 5340 offre des performances inégalées pour l'imagerie, la détection des défauts et la cartographie. La technologie d'imagerie multicolore est utilisée pour la cartographie rapide et précise des plaquettes et la caractérisation des caractéristiques. Les filtres et microscopes à haute résolution permettent d'augmenter jusqu'à 30x la résolution par rapport aux systèmes conventionnels, ce qui permet une inspection et une analyse détaillées de chaque plaquette. L'outil dispose également d'un outil avancé d'inspection thermique, fournissant une imagerie infrarouge rapide et sans contact. Une variété de sondes thermiques et de lentilles peuvent être utilisées pour inspecter chaque plaquette, permettant une localisation et une analyse rapides des défauts. Enfin, le modèle de métrologie automatisée de THERMA-WAVE Optiprobe 5340 comprend une gamme d'algorithmes logiciels pour la comparaison et l'analyse des plaquettes. Des algorithmes sophistiqués sont utilisés pour identifier rapidement et avec précision les défauts courants dans une plaquette donnée et peuvent identifier les zones présentant des défauts suspects qui peuvent nécessiter une inspection plus poussée. En donnant accès à des algorithmes sophistiqués d'analyse des défauts, Optiprobe 5340 est idéal pour des tâches complexes de métrologie et de vérification.
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