Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #293652610 à vendre en France

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui combine un balayage précis et rapide de plaquettes avec des outils de métrologie dédiés. Il utilise des capteurs CCD avancés dans son système optique pour assurer un balayage précis des plaquettes, et il est conçu pour l'essai et la métrologie de plaquettes de 200 mm (8 pouces) et 300 mm (12 pouces). KLA Spectra FX 200 est capable de réaliser une métrologie bidimensionnelle et tridimensionnelle sur une large gamme d'épaisseurs, de matériaux et de motifs de plaquettes. Cela comprend les mesures de dimensions critiques (CD), les mesures de profondeur de gravure et les mesures de superposition. Il a la capacité de détecter plusieurs couches de caractéristiques sur les plaquettes, et peut également mesurer la taille des particules et les contaminants chimiques. TENCOR Spectra FX 200 utilise une unité brevetée de génération de pression inférieure pour des mesures à haute résolution, ce qui permet de suivre de petites modifications des propriétés des plaquettes avec une grande précision et résolution. Cette machine permet également un contrôle en temps réel du processus de balayage. Il dispose d'un étage avancé contrôlé par ordinateur pour un positionnement rapide et précis des plaquettes. THERMA-WAVE Spectra FX 200 propose une variété de composants optionnels, dont un chargeur de substrat automatisé, un robot de transfert d'échantillons, un refroidissement liquide pour des vitesses de balayage plus élevées, une station de cartographie en ligne et des commandes de gaz intégrées. Il peut être intégré à plusieurs microscopes différents, y compris le faisceau d'ions focalisés et les microscopes électroniques à balayage. En outre, l'outil Spectra FX 200 est équipé d'un logiciel puissant basé sur PC qui permet une configuration et un fonctionnement faciles. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200 est un outil puissant et polyvalent de test de plaquettes et de métrologie. Il offre des capacités de balayage précises et rapides tout en offrant plusieurs couches de détection de fonctionnalités et une large gamme de composants optionnels. Le modèle est facile à intégrer avec d'autres microscopes, et est équipé d'un puissant logiciel basé sur PC qui simplifie la configuration et le fonctionnement.