Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #9215204 à vendre en France
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Vendu
ID: 9215204
Taille de la plaquette: 8"-12"
Style Vintage: 2005
Film thickness measurement system, 8"-12"
(2) Load ports
EFEM
UI
Insert type: Conversion, 8"
Data transfer: Floppy disk / DVD R/W
Operation: Mouse and keyboard
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save and classification
Queued loading (Queue recipe)
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength light source: 220 to 800 nm
Spot size: <30 µm (Thickness and Rl)
Spot size: <30 µm (Reflectivity)
2D and 3D Mapping function
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE and DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Screen
Recipe / Library import: TCP/IP (On-time intromit)
Wafer breakage: ≤1/1,00,000 Cycles
Signal tower
Options:
E30-98 Gem semi
E5-93 SECS II Semi
Recipe generator
Remote access capability
Carrier ID, 12"
E23, 12"
E84, 12"
E87, 12"
Safety shield for SO, 12"
HP 6122
HSMS Communication
Break beam mapper
Direct cable less power connection
E84 Enabled: OHT and AGV/RGV
OHT Lockout
Computer
Operating system: Windows XP
PHOENIX Handler
Controllers:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz - P4 2.8 MHz
Memory: 1.024 GB DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
CD_R: 40X_8X (DVD RW)
Dongle
2005 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe. Il est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour tester des plaquettes pour une variété de paramètres, des caractéristiques électriques aux défauts physiques. Le système est capable de saisir avec précision une variété de données provenant de la plaquette semi-conductrice, et peut être utilisé pour détecter les défauts, mesurer les propriétés électriques et effectuer une analyse statistique. KLA Spectra FX 200 est composé de trois composants principaux. La station optique abrite le microscope, le spectrophotomètre et les polarimètres, qui permettent à l'unité de saisir des informations détaillées sur la surface, la structure et la composition de la plaquette. L'unité interférométrique est capable de capturer des mesures extrêmement précises, y compris la rugosité de surface, le facteur de forme et l'épaisseur de couche. Enfin, la station spectrographique est équipée d'une suite d'instruments d'analyse permettant de mesurer et d'analyser l'ensemble des propriétés de la plaquette. Cette machine offre une large gamme de fonctionnalités conçues pour améliorer la précision et réduire le temps de test. Il utilise des logiciels propriétaires et des algorithmes pour accélérer l'analyse des données et fournir une meilleure précision. Une base de données intégrée facilite le stockage et le rappel des données, tandis que le test à double longueur d'onde permet de détecter facilement les écarts entre les deux séries de mesures. L'outil offre également un certain nombre de processus de métrologie automatisés conçus pour assurer une mesure et une analyse optimales des résultats. La conception innovante de TENCOR Spectra FX 200 garantit une performance supérieure avec moins d'erreurs et un taux de défaillance plus faible. Sa capacité à détecter de minuscules défauts et à mesurer de multiples paramètres avec une précision incroyable en fait l'un des systèmes de test et de métrologie de plaquettes les plus fiables et avancés disponibles. En outre, il peut être configuré pour accueillir une large gamme de tailles et de types de plaquettes, ce qui le rend adapté à une variété d'applications différentes.
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