Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #9249271 à vendre en France

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200 wafer testing and metrology equipment est un système automatisé de métrologie sans contact conçu pour la mesure et l'analyse des structures de couches minces au niveau de la plaquette, permettant l'optimisation du niveau de la plaquette dans les sous-10 nanomètres de résolution. Il combine des capacités d'inspection et d'essai sophistiquées avec la métrologie de précision de l'interférométrie. Il se compose des éléments suivants : Une unité d'optique informatisée (COS) qui utilise une source lumineuse multi-longueurs d'onde pour mesurer et caractériser la structure des couches de divers films sur une plaquette. Cela comprend la capacité de cartographier les caractéristiques de surface, les épaisseurs des films de matériaux, les propriétés opto-électroniques et les films de matériaux de différentes épaisseurs et coefficients de diffusion. Il a une couverture en longueur d'onde de 400 - 3200 nm, avec une résolution spectrale allant jusqu'à 0,2 nm. Une machine de cartographie de Wafer (WMS) qui utilise un module d'interférométrie laser pour mesurer et cartographier précisément la surface d'une wafer. Il peut mesurer la résistivité, l'épaisseur du film et la diffusivité avec une résolution inférieure à 40 nanomètres. Il a également un haut niveau de précision et de répétabilité, permettant des mesures cohérentes. Un outil d'analyse des processus (PAS) qui fournit une analyse détaillée des données recueillies à partir des modules COS et WMS. Il est en mesure de fournir une inspection détaillée des différents films, et d'analyser leur épaisseur, leur composition et leurs propriétés matérielles. Il propose également une analyse quantitative des profils de contraintes du film, de l'épaisseur et d'autres paramètres opto-électroniques. Un actif de suivi semaphore automatisé (ASTS) qui aide le modèle de balayage automatisé à naviguer dans la plaquette et à fournir des commentaires sur les progrès de l'analyse. Cet équipement comprend une fonction de correction de balayage qui permet de compenser automatiquement les distorsions dues à des alignements de plaquettes non idéaux. Le système Spectra FX 200 de KLA est idéal pour des applications telles que l'inspection avancée des plaquettes, la métrologie avancée des films et des surfaces, la métrologie des matériaux avancés, ainsi que la qualification et la validation des processus. C'est une solution fiable et rentable pour fournir des solutions de métrologie au niveau des plaquettes. Cette unité est conçue avec du matériel et des logiciels robustes pour fournir des résultats de métrologie rapides et précis avec un minimum de temps d'arrêt.