Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 #293591665 à vendre en France
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Vendu
ID: 293591665
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2013
Optical review system, 12"
Process: Scatter
(3) Load ports
Robot / Stage controller
FOUP opener: SINFONIA
EMO Recessed
Panel interlock
Power cable: 3m
Does not include: Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 VAC, Single phase
2013 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 est un premier équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour le contrôle de la qualité dans une variété d'applications de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une gamme d'outils de métrologie des wafers, allant de l'analyse des vecteurs laser et des motifs de diffraction à l'analyse radiométrique, pour mesurer et comparer avec précision les valeurs des paramètres à des résultats cohérents et reproductibles. KLA Spectra-Shape 8660 offre une grande variété de capacités de mesure. Il utilise le balayage des vecteurs laser et l'analyse des motifs de diffraction pour obtenir des informations topographiques de surface à partir d'échantillons de plaquettes et fournit une analyse quantitative extrêmement précise pour évaluer les changements dans les caractéristiques de surface telles que la rugosité de surface, les limites des grains, les caractéristiques de relief, la planéité, etc. En outre, TENCOR Spectra-Shape 8660 offre également une large gamme de capacités de radiométrie qui peuvent déterminer les niveaux absolus de réflectance optique de certaines surfaces. La performance de Spectra-Shape 8660 est extraordinaire ; il utilise un étage de mouvement qui donne des mouvements ultra-précis dans le sens x et y, une plage de longueurs d'onde allant jusqu'à 30 nm, un système de lentilles optiques, et une chambre d'imagerie spécialement conçue pour garder ses lectures exactes. De plus, son optique est conçue pour réduire le contraste thermique et son étage de balayage est conçu pour assurer un mouvement lisse même avec des échantillons qui ne sont pas parfaitement plats. L'unité offre plusieurs interfaces conviviales avec des diagnostics complets, des fonctionnalités d'alarme et des paramètres de balayage automatique qui permettent une facilité d'utilisation et une configuration simple lors des mesures de routine. En outre, THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 dispose également d'une variété d'options d'analyse statistique, de routine d'étalonnage automatisée et de procédures de mesure, de capacités d'analyse des tendances, d'outils intégrés de contraste d'image et de filtrage, ainsi que d'une interface graphique facile à utiliser. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 est une machine d'essai et de métrologie de plaquettes haut de gamme qui peut mesurer avec précision une variété de caractéristiques avec une grande précision. Son design de pointe et ses logiciels sophistiqués offrent des mesures rapides et fiables et permettent de comparer rapidement les valeurs des paramètres avec des résultats cohérents et reproductibles. Cet outil est un outil extrêmement précieux pour le contrôle et la production de semi-conducteurs.
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