Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 300 #293642292 à vendre en France

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 300 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour les industries électroniques et photoniques. Il fournit des mesures de haute précision avec une résolution nanométrique et une collecte de données en temps réel. Cela en fait une solution idéale pour des applications telles que la lithographie avancée, la recherche et le développement, et la fabrication de semi-conducteurs. Le système est capable de tester des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre et de mesurer des épaisseurs jusqu'à 1nm. Il dispose d'un étage automatisé avancé pour le chargement et le positionnement rapides des échantillons, avec des capacités de navigation et de stabilisation de précision. Son bras robotique à cinq axes peut être configuré pour choisir et placer des plaquettes ou manipuler des composants lourds, ce qui permet de réaliser des séquences de test automatisées rapidement et avec précision. En outre, l'unité prend en charge la mesure automatisée de volumes élevés de données avec une traçabilité complète et le contrôle des processus. Le KLA Therma-Probe 300 est équipé d'une machine optique optimisée avec un objectif de 50 mm pour offrir une résolution d'image et un contraste supérieurs. Sa caméra CCD haute résolution offre un champ visuel de 4 à 6 mm et une résolution allant jusqu'à 1 nm. L'outil prend également en charge la fractographie et la micro-métrologie, avec une taille de tache de 5,0 μ m et une précision de 5nm. L'actif peut également fonctionner en mode sans contact, en utilisant soit l'imagerie thermique, soit une combinaison de thermographie et d'imagerie photodiode. Cela fournit des mesures à grande vitesse avec une résolution thermique jusqu'à seulement 1mK. De plus, le modèle dispose de fonctions de métrologie automatisées, telles que les mesures PCD et CD-SEM, CD optique, mesures de rugosité bord ligne (LER), mesures de recouvrement CD et CD-SEM, et CD dos à dos. Dans l'ensemble, TENCOR Therma-Probe 300 est un excellent choix pour une variété d'applications. Il offre une précision et une précision supérieures, une collecte de données rapide et des capacités de métrologie complètes, ce qui le rend idéal pour la recherche et le développement, la lithographie avancée et la fabrication de semi-conducteurs.