Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 630 #9191862 à vendre en France

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 630 est un équipement polyvalent et puissant d'essai et de métrologie de plaquettes capable de tester et de mesurer les propriétés des plaquettes semi-conductrices et des circuits intégrés (IC). Au cœur du système se trouve un détecteur thermique très sensible. Ce détecteur, combiné avec des capacités de sondes de plaquettes et des applications logicielles de métrologie, permet à l'unité de mesurer avec précision une gamme de propriétés de plaquettes avec un degré impressionnant de répétabilité et de précision. La machine peut analyser une gamme de matériaux semi-conducteurs, tels que le silicium, l'alumine, le silicium sur isolant, le silicium sur saphir, le polyimide et l'arséniure de gallium, ainsi que des CI situés sur ces matériaux. L'outil est principalement utilisé pour détecter les défauts de surface et les paramètres liés au processus, tels que le courant de fuite, la capacité, la résistivité et la résistance à la rupture. Les techniques de mesure sans contact de l'actif permettent aux utilisateurs d'visualiser le profil de température d'une plaquette avec un niveau de détail inégalé. Les applications logicielles de métrologie sont essentielles pour obtenir des mesures précises et précises. KLA Therma-Probe 630 est intégré à une gamme de logiciels VIAS, qui offrent une intégration et une analyse complètes des mesures des plaquettes. En plus de l'imagerie automatique des températures de surface des profils de plaquettes, le logiciel VIAS peut détecter, classer et analyser à la fois les défauts linéaires (fil) et les petites structures (bord de structure). De plus, le modèle est très efficace lorsqu'il est utilisé pour des mesures de contraintes. Dotés de capacités avancées d'analyse de distorsion de contrainte, les utilisateurs peuvent calculer rapidement et avec précision les valeurs de contrainte biaxiale à partir de mesures de profil des distorsions de surface. L'équipement peut également détecter des distorsions dans des plaquettes minces de silicium sans dégrader les propriétés mécaniques. TENCOR THERMAPROBE 630 est conçu pour offrir des performances supérieures et une flexibilité maximale. Il peut être intégré à d'autres systèmes de test et de métrologie de plaquettes, tels que les systèmes 790 et Leica, et est livré avec une interface utilisateur intuitive pour une navigation facile et la manipulation des ensembles de données. Le système dispose également d'une gamme de capacités d'imagerie et d'analyse avancées pour détecter les propriétés physiques et électriques des composants semi-conducteurs. En résumé, THERMAPROBE 630 est une unité de test et de métrologie avancée qui fournit aux utilisateurs de puissantes capacités de mesure thermique et des applications logicielles de métrologie polyvalentes. Avec son impressionnant niveau de répétabilité et de précision, il est idéal pour analyser rapidement et précisément une gamme de propriétés des plaquettes, des défauts de surface et leurs dimensions aux distorsions thermiques et aux valeurs de contraintes.