Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 630 #9296387 à vendre en France

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ID: 9296387
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
Ion implanter, 12" Operating system: Windows NT 2001 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 630 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour mesurer les paramètres électriques des structures avancées des appareils sur plaquettes. Cette machine obtient les résultats de mesure électrique les plus précis et précis grâce à ses caractéristiques technologiques avancées. Le système intègre les derniers progrès de la technologie de sonde optique automatisée, y compris une solution de micro-sonde optique à haut débit avec une sensibilité à l'échelle nanométrique et des mesures en temps réel sans contact. KLA Therma-Probe 630 dispose d'une précision et d'une précision élevées, de mesures fiables et d'un débit rapide même sur des structures complexes. L'unité de test des plaquettes est conçue pour traiter des ICs allant de 0,5 à 12 microns, des plaquettes allant jusqu'à 150 et 200 millimètres et des échelles allant de 2 à 3 microns. La machine de métrologie intégrée maintient une température de surface de -40ºC à + 250ºC pendant les essais, et la plaquette peut être déplacée linéairement à n'importe quel site d'électrode désiré. La machine offre également une sonde biface en option, lui permettant d'accéder au côté arrière de la plaquette. Afin d'assurer des performances optimales et une linéarité fiable, l'outil utilise des circuits sophistiqués de traitement du signal et des techniques actives de compensation de la température. TENCOR THERMAPROBE 630 intègre un processeur FPGA (field programmable gate array) pour des mesures parallèles simultanées. Il dispose également d'un processeur de signal numérique haute vitesse (DSP) pour la manipulation à grande vitesse des données, et d'un dispositif de mémoire programmable pour le stockage et la récupération des données. L'actif est également capable d'effectuer des tests d'autosurveillance, y compris des mesures de fuite, de résistance à l'état passant, de linéarité, de courbes courant-tension et de capacité de jonction. Tous ces essais sont effectués avec une perturbation minimale des mesures. En outre, le modèle est équipé d'un logiciel d'interface graphique avancé (interface graphique) pour faciliter la gestion des données et l'analyse des données. THERMA-WAVE Therma-Probe 630 est conçu avec de nombreuses fonctionnalités conviviales. Par exemple, les plaquettes sont automatiquement alignées, et la machine peut être autonome et passer entre différents modes de test, du mode de test statique au mode de test dynamique. Il est également capable d'appliquer différents types de structures de test, telles que flip-chip, mémoire non volatile (NVM), silicium sur isolant (SOI), biomemristor. L'équipement est capable d'effectuer de multiples niveaux d'essai, de l'essai sur plaquette I/V (courant/tension) à l'estimation du rendement. Il peut également être adapté à des mesures parallèles sur plusieurs plaquettes. En conclusion, THERMA-WAVE THERMAPROBE 630 est un système d'essai et de métrologie de plaquettes très avancé qui peut fournir des mesures électriques précises de plaquettes de différentes tailles et structures. Il offre de nombreuses caractéristiques avantageuses, telles que la précision et la précision, le débit rapide et les tests d'autosurveillance. En outre, ses fonctionnalités conviviales et sa facilité de gestion des données le rendent adapté à toute application avancée de test de plaquettes.
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