Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293699103 à vendre en France
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe. Il est conçu pour effectuer des tests électriques et optiques sur des plaquettes semi-conductrices et des circuits intégrés. Il offre une plate-forme intégrée pour les services de test des plaquettes, y compris la sonde des plaquettes, les tests paramétriques des plaquettes, le tri et la programmation. Il offre également des capacités de métrologie avancées pour les mesures dimensionnelles des plaquettes, y compris la forme des plaquettes, la planéité et le profil des bords. KLA TP 500 dispose d'un système de projection de wafer haute vitesse capable de mesurer une variété de données paramétriques, y compris Vt, Ioff, panne diélectrique, planéité, point de rupture, distribution des paramètres de wafer et courant de fuite. Il peut également effectuer la surveillance de substrats hors spécification. TENCOR TP-500 est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 200mm en taille et dispose de cinq têtes prober sélectionnables. Ceci fournit une vitesse d'essai maximale de 40MHz. Le prober dispose d'une interface de données interne qui permet un transfert de données rapide et facile vers un ordinateur hôte. Les capacités de métrologie du TP 500 comprennent la mesure de la forme des plaquettes, de la planéité et du profil des bords. Il utilise l'interférométrie laser et une unité de microscopie numérique en boucle fermée pour mesurer la forme des plaquettes. Il utilise également KLA Interferometry Metrologer (TIM) pour la planéité, le profil de bord, l'uniformité de spin et d'autres types de mesures dimensionnelles. THERMA-WAVE TP-500 offre également un analyseur d'environnement qui peut modéliser une plaquette pour l'instrumentation secondaire. Il lit la taille des matrices, trie les meurtres, mesure les stimuli et les paramètres, et les écrans pour les défauts. THERMA-WAVE TP 500 a un bilan impeccable de fiabilité et de précision. Ses systèmes de données embarqués surveillent les performances de la machine et alertent l'opérateur lorsqu'une défaillance est détectée. Il dispose également d'un outil d'autodiagnostic intégré qui permet d'identifier rapidement et de remédier à tous les problèmes. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP-500 est un outil de test et de métrologie des plaquettes de pointe qui fournit une plate-forme fiable et précise pour tester une variété de plaquettes semi-conductrices et de circuits intégrés. Il offre un prober à grande vitesse, ainsi que des capacités de métrologie avancées qui permettent de tester et de suivre en détail les paramètres du substrat.
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