Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293823526 à vendre en France

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé pour le développement de procédés semi-conducteurs et l'analyse des pannes. Le système fournit une analyse automatisée de la surface supérieure et de la coupe transversale des plaquettes ou de la matrice à un niveau élevé de résolution et de précision. KLA TP 500 utilise la thermographie pour mesurer les propriétés électriques des surfaces de plaquettes sans avoir besoin de contact destructeur ou de microscopie optique. Ce processus aide à identifier les dommages et les défauts dans les caractéristiques de taille minuscule. L'unité est également capable d'effectuer des mesures de planéité au niveau de la filière et de la plaquette à l'aide de capteurs sans contact, qui peuvent détecter des variations de topographie allant jusqu'à 0,3 nm. Pour l'analyse de die, TENCOR TP-500 offre des capacités de localisation automatique avec des transitions manuelles et automatisées d'adresse de die, pour se déplacer facilement d'un endroit à l'autre. La machine intègre un étage XY de 45x45mm ou 90x90mm, fournissant une cartographie complète pour l'analyse des plaquettes. L'outil dispose également d'une imagerie haute résolution, avec une profondeur de champ allant jusqu'à 0,5 µm, capture d'image numérique, sélection automatique de la matrice et technologie de détection d'empreintes. Ses outils d'analyse d'image comprennent le comptage avancé des particules, la mesure des dimensions critiques et l'analyse de signature électrique. TP 500 peut générer une variété de rapports de métrologie dans divers formats tels que le résumé combiné, l'analyse des mécanismes de défaillance, le passage/échec et les rapports topographiques. L'actif permet également de vérifier la cartographie des paramètres critiques tels que les seuils, la planéité, la connectivité et la répétabilité die-to-die. En outre, le modèle dispose d'une interface intuitive et conviviale et permet le diagnostic et la réparation de l'équipement à distance. Il est conçu pour répondre à la conformité RoHS et offre un échantillonnage à grande vitesse à un débit allant jusqu'à 120 wafers par heure. THERMA-WAVE TP-500 est un système d'essai et de métrologie de plaquettes haut de gamme pour des processus semi-conducteurs exigeants.