Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293759748 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293759748
Style Vintage: 2006
Metrology system
Lamp housing
ANORAD Stage assy
Upper drawer
Lower drawer
Laser
(2) ASYST ISOPORT Load ports
KAWASAKI 3NX520B-A005 Robot
Aligner
Front UI
Rear UI
(4) KINETIC SYSTEMS Vibraplane
Part number:
40077-01-0055
40076-03-0055
40076-02-0055
40077-01-0055
PC
Robot controller missing
2006 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP est un équipement d'essai et de métrologie multifonctions conçu pour des applications de métrologie haute précision et haute vitesse. Le système dispose d'une optique haute performance et d'une imagerie de haute qualité pour l'analyse et la mesure des échantillons. Il est équipé d'une unité AutoFocus rapide et fiable, ainsi que d'un algorithme In-Sight unique pour analyser rapidement les structures complexes des appareils à partir de grandes plaquettes. KLA TP 630XP utilise une étape automatisée pour le balayage d'échantillons à haut rendement, et offre trois vitesses pour obtenir la meilleure vitesse et précision pour les applications de métrologie et de caractérisation. Avec une taille de pas maximale de 2,5 um, TENCOR TP 630XP peut mesurer les fonctionnalités du circuit jusqu'à des niveaux de sous microns. Le FP 630XP fournit également trois sélections d'éclairage pour différentes exigences d'essai. Il s'agit notamment de la lumière blanche, de la lumière polarisée et de l'éclairage du champ sombre. TP 630XP dispose d'une caméra CCD haute résolution avec des résolutions sélectionnables de 550 x 570 à 3 424 x 2 656 pixels. Le logiciel de traitement d'image de la caméra peut analyser les données de plaquettes entières avec une grande précision. La machine supporte également une large gamme de matériaux de préparation d'échantillons, permettant l'amincissement des plaquettes, la recherche de charnières et la gravure avant les essais. THERMA-WAVE TP 630XP offre également des capacités de métrologie avancées, permettant une mesure de haute précision de la hauteur, de l'inclinaison, du coin et du rayon de bord, ainsi que d'autres micro-caractéristiques, pour effectuer l'examen et l'analyse des défauts. En outre, le logiciel avancé comprend des outils de traitement d'image pour la reconnaissance automatique des dispositifs, des mesures de recouvrement et de recouvrement des plaquettes, et des mesures de dimensions critiques. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP est certifié pour la fabrication au niveau des plaquettes, ainsi que la métrologie automatisée pour la surveillance des processus de litho-gravure. L'outil est compatible avec une variété de procédés de gravure de plasma et de descum standard de l'industrie. Avec ses caractéristiques complètes, KLA TP 630XP est conçu pour améliorer la métrologie au niveau des plaquettes, réduire les coûts et augmenter les rendements de production.
Il n'y a pas encore de critiques