Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293793232 à vendre en France

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP
ID: 293793232
Metrology system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP est un équipement avancé d'essai de plaquettes d'imagerie thermique laser et de métrologie. Elle utilise la thermographie infrarouge pour mesurer la résistivité électrique d'une plaquette aux résolutions submicroniques, ce qui la rend adaptée à une gamme de procédés de production de semi-conducteurs. KLA TP 630XP est capable de mesurer des structures tridimensionnelles complexes sans nécessiter de calculs manuels d'alignement ou de post-mesure. Il effectue des essais rapides et non destructifs de films minces, de caractéristiques et de matériaux utilisés dans la fabrication de puces semi-conductrices. La plaquette est éclairée par un faisceau laser, et l'infrarouge enregistré par la caméra d'imagerie thermique est converti en valeurs de résistivité relative, qui est alors corrélée à une norme. Le système est rapide et fiable avec des vitesses d'acquisition de données allant jusqu'à 5.000 points par seconde, et peut fournir une analyse complète en temps réel. Il comporte des mécanismes de sécurité intégrés et de multiples alarmes pour alerter le personnel des dangers tels que les températures élevées. Les capacités de déclaration de l'unité permettent le stockage et l'analyse quasi instantanés des ensembles de données. TENCOR TP 630XP peut mesurer avec précision les valeurs de résistivité dans n'importe quelle direction (résistivité bidirectionnelle) sur et hors de la plaquette, même en cas de non-linéarité très localisée. Les mesures de résistivité bidirectionnelles de TP 630XP garantissent des résultats précis, reproductibles et traçables. En outre, son acquisition d'image haute performance et son analyse de signal le rendent apte à des tests avancés dans des structures submicroniques profondes. En plus de ses capacités d'imagerie thermique, THERMA-WAVE TP 630XP comprend des outils de métrologie spécialisés tels qu'une machine de contrôle des processus pour la mesure des données et des paramètres, et un outil d'analyse rapide des résultats pour l'identification efficace des erreurs de processus. Il comprend également des fonctionnalités telles qu'un mécanisme Auto-Align et Stabilize pour aider à réduire les coûts d'alignement manuel. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP est un outil d'essai et de métrologie efficace et précis qui convient à de nombreux processus de production dans l'industrie des semi-conducteurs. Ses capacités avancées d'imagerie thermique et de métrologie permettent l'analyse rapide et précise de structures tridimensionnelles complexes, et ses caractéristiques de sécurité intégrées et ses capacités de rapport en font un modèle fiable et sûr pour toutes sortes d'essais de plaquettes et de besoins en métrologie.
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