Occasion KLA / TENCOR UV 1050 #293619569 à vendre en France

ID: 293619569
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR UV 1050 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. C'est un système entièrement automatisé d'inspection et de métrologie à haut débit qui fournit des données en temps réel sur chaque plaquette. KLA UV 1050 est capable de mesurer les caractéristiques des nanomètres avec précision et précision. L'unité fonctionne en utilisant une série de techniques de laser et de vision. Il s'agit notamment de la scatterométrie laser, de l'interférométrie laser, de l'interférométrie en lumière blanche, de l'inspection et de la métrologie par image et de la métrologie de fluorescence. Par exemple, la scatterométrie laser mesure la diffusion de la lumière laser hors de la surface d'une plaquette, permettant des mesures géométriques des caractéristiques d'échelle nanométrique. L'interférométrie laser représente les micro-textures de la surface de la plaquette pour capturer la topographie tridimensionnelle. L'interférométrie en lumière blanche mesure les films, les films sur les films et la topographie sur les films avec une résolution nanométrique. L'inspection par image mesure la présence, la taille et la forme des défauts. Enfin, la métrologie de fluorescence mesure la lumière émise de la surface de la plaquette pour détecter les composants critiques et les défauts. TENCOR UV 1050 est conçu pour permettre aux fabricants de détecter plus facilement les défauts critiques et de contrôler les paramètres de processus dans la fabrication de plaquettes à haut volume. Sa puissante optique permet des images d'appareils multiples et des scans automatiques de plaquettes entières. La machine d'imagerie haute vitesse capture quatre images par seconde, fournissant des résultats rapides et précis. Les capacités de métrologie basée sur l'image de l'outil sont capables de mesurer avec précision de nombreuses caractéristiques de surface, y compris les TCD, les résistances de film, les topographies, les mesures d'épaisseur et les profils transversaux. De plus, UV 1050 dispose de technologies exclusives de réduction du champ lumineux, du champ noir et de la fluorescence, offrant aux utilisateurs une amélioration dynamique des défauts et une inspection plus approfondie. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR UV 1050 fournit un outil fiable et facile à utiliser pour les essais de plaquettes et la métrologie, ce qui en fait un atout précieux pour les installations avancées de semi-conducteurs. En combinant une technologie d'imagerie de pointe avec des inspections automatisées et rapides, KLA UV 1050 permet aux fabricants de mesurer, d'identifier et de contrôler avec précision les défauts critiques à l'échelle d'un nanomètre.
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