Occasion KLA / TENCOR UV 1050 #293750635 à vendre en France
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ID: 293750635
Taille de la plaquette: 6"-8"
Film thickness measurement system, 6"-8".
KLA/TENCOR UV 1050 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé pour réaliser des mesures précises et la surveillance des paramètres critiques de processus semi-conducteurs. Ce système combine la technologie de l'obturateur oscillant rapidement et de l'alignement laser avec un six-axes automatisé pour l'enregistrement macro précis, créant une unité avancée et polyvalente pour l'inspection des défauts et l'examen des forces à plusieurs filières. Des caractéristiques telles que le suivi avancé de la filière et la métrologie rapide sans contact garantissent que la machine est capable de mesurer les paramètres du processus semiconducteur avec une précision et une répétabilité inégalées. L'outil est capable d'inspecter des structures tridimensionnelles telles que des transistors, des structures diélectriques, des interconnexions en cuivre, des plots de contact et des tranchées profondes sous éclairage ultraviolet de forte puissance. KLA UV 1050 comprend un actif optique avancé, qui comprend une source lumineuse UV de 10K pixel, et un modèle d'alignement avancé, avec un codeur et un contrôleur de scène dirigés par un ordinateur de bord. Les données sont capturées avec une caméra CCD, avec une résolution de capture de 12 bits, un taux de capture d'image inférieur à une milliseconde et une mise au point de haute précision. L'équipement comprend une multitude de fonctions pour assurer la précision, y compris l'alignement et le suivi automatiques, des capteurs de vision intégrés, des paramètres de seuil manuels et automatisés, des prévisualisations de capture d'image et des capacités de mesure, d'analyse et de déclaration avancées. Le fonctionnement automatisé du système peut également être programmé pour exécuter des applications personnalisées, telles que l'optimisation des processus et l'évaluation de l'emplacement des défauts. TENCOR UV 1050 est conçu pour un fonctionnement facile, nécessitant un réglage minimal et une intervention de l'opérateur. Grâce à son optique avancée, sa source d'éclairage UV intégrée et son interface utilisateur intuitive, l'unité peut rapidement identifier les défauts subtils et difficiles et fournir aux utilisateurs des données précises et fiables pour le contrôle des processus et des rendements améliorés.
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