Occasion KLA / TENCOR UV 1050 #293752938 à vendre en France
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ID: 293752938
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 1992
Film thickness measurement system, 6"-8"
1992 vintage.
KLA/TENCOR UV 1050 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes haut de gamme conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Ce système fournit des tests rapides et précis de l'amincissement des plaquettes et de la qualité des couches avec la capacité de détecter les défauts ponctuels, la déformation des plaquettes et la rugosité superficielle des plaquettes semi-conductrices nues et revêtues. L'unité est composée de deux composants principaux : la machine d'interférométrie laser KLA UV 1050 patique et les sous-systèmes utilisables. L'outil TENCOR UV 1050 utilise un laser de précision, une optique et une électronique pour mesurer précisément l'épaisseur et la hauteur totale de la plaquette. L'actif se compose de deux têtes d'interféromètre laser, chacune avec une configuration de faisceau unique, qui sont utilisés pour mesurer la topographie de la quantité de la plaquette en enregistrant sa variation maximale d'épaisseur point à point et la hauteur totale de la plaquette plus tout matériau de surenchère. Il est équipé d'une technologie de mesure optique à 3 canaux sans contact qui permet de mesurer une large gamme d'épaisseurs de plaquettes sur une large gamme d'angles d'incidence. Ce modèle permet également de détecter des particules à l'échelle nanométrique à la surface de la plaquette. De plus, un processus d'étalonnage étape par étape est utilisé pour assurer des mesures précises. Les sous-systèmes utilisables sont conçus pour prendre en charge les équipements UV 1050 et comprennent un ordinateur programmable pour la commande du système, un sous-système d'imagerie raster pour suivre la position de la plaquette au fur et à mesure qu'elle traverse l'interféromètre, et un sous-système de nivellement zébré pour niveler la surface de la plaquette au fur et à mesure qu'elle traverse la tête. L'unité est également conçue pour fournir un entretien rapide et facile, y compris des diagnostics automatisés, et un étalonnage de la machine pour une performance optimale. L'outil KLA/TENCOR UV 1050 offre de nombreux avantages pour les essais de plaquettes et la métrologie. Il assure des mesures précises et répétables de l'amincissement des plaques et de la qualité des couches, et est conçu pour détecter les défauts ponctuels, les déformations des plaques et la rugosité de la surface. L'interface conviviale facilite le fonctionnement et la maintenance, tandis que les sous-systèmes utilisables permettent des tests précis et fiables. De plus, les configurations flexibles de l'actif peuvent être personnalisées pour répondre à des besoins de test spécifiques. En fin de compte, KLA UV 1050 wafer test et modèle de métrologie est une solution idéale pour le test de précision des wafer dans l'industrie des semi-conducteurs.
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