Occasion KLA / TENCOR UV 1050 #293759835 à vendre en France

KLA/TENCOR UV 1050 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de pointe qui offre une précision, une répétabilité et une traçabilité inégalées pour le contrôle des processus de fabrication de plaquettes semi-conductrices et la métrologie en ligne. Équipé de rayons X durs, de scatterométrie optique, de photométrie, de spectroscopie Raman et d'autres technologies, ce système d'essai et de métrologie des plaquettes est conçu pour mesurer et vérifier l'uniformité des paramètres critiques du processus tels que la planéité de la surface des plaquettes, la profondeur de gravure, la concentration de dopants et l'uniformité des CD. KLA UV 1050 a été conçu pour fournir la plus grande précision dans les mesures pour les géométries de moins de 100nm. L'unité a une résolution de 10nm ainsi qu'une précision de répétabilité de 0,5nm. Grâce à sa technologie brevetée de balayage vertical, la machine est conçue pour fournir une excellente précision et uniformité sur la plaquette sans limitation de la largeur du matériau ou du type de matériau. De plus, son balayage horizontal de haute précision élimine les erreurs liées à la linéarité ou à la non-uniformité des composants optiques. TENCOR UV 1050 est une solution de métrologie clé en main qui peut être utilisée à la fois dans les lignes de traitement des plaquettes avant et les laboratoires de métrologie arrière. Avec sa conception modulaire, il peut supporter des applications à haut débit avec jusqu'à 2 plaquettes par mesure et des applications de haute précision avec jusqu'à 8 wafer reproductibilité de mesure. En plus de ses mesures automatisées de divers paramètres critiques du processus, l'outil comprend diverses fonctionnalités intelligentes telles que l'alignement quadrant automatisé et l'auto-étalonnage automatique in situ des plaquettes. L'interface utilisateur d'UV 1050 est conçue pour la simplicité et la facilité d'utilisation, tandis que ses analyses avancées sont conçues pour les ingénieurs de traitement des plaquettes et de métrologie. Toutes les données sont stockées dans des formats ASCII, CSV, SQL ou autres, ce qui facilite leur intégration avec les systèmes existants. Pour assurer l'exactitude des données, l'actif dispose d'un programme de traçabilité intégré qui suit les vérifications des modèles pour les mesures planaires, le rendement, les activités d'entretien et l'étalonnage de l'équipement. Le système est compatible avec une variété de substrats, tels que le silicium, le verre, les polymères et les hybrides, et plusieurs modes de fonctionnement. Avec KLA/TENCOR UV 1050 coûts abordables et l'innovation, il est l'unité de métrologie parfaite pour ceux qui cherchent à optimiser leur rendement et la recherche de matériaux.