Occasion KLA / TENCOR UV 1050 #9247774 à vendre en France

ID: 9247774
Taille de la plaquette: 4"-8"
Style Vintage: 1996
Thin film measurement system, 4"-8" Broadband UV optics Dual beam spectrophotometry Polysilicon and UV reflectivity applications Operating system: Windows NT Simultaneous multilayer ESML Measures over 500 discrete wavelengths Stage resolution: X,Y: 0.25 μm Z: 0.025 μm Automatic focus on measurement Graphical User Interface (GUI) Handler: (2) Open cassettes Floppy drive: 3.5 SECS II Interface Power supply: 220 V, 50/60 Hz 1996 vintage.
L'équipement KLA/TENCOR UV 1050 d'essai de plaquettes et de métrologie est le principal outil de métrologie pour les applications critiques d'emballage de pointe. Ce système exploite l'optique avancée, y compris l'éclairage laser ultraviolet (UV) atténué par l'ozone et les techniques d'imagerie avancées pour la détection précise des défauts sur les plaquettes et les substrats. KLA UV 1050 a la capacité de travailler avec des plaquettes de 3 pouces jusqu'à 200mm et fournit une détection de défaut de niveau fonctionnel jusqu'à 1 μ m avec un rapport signal/bruit élevé. L'unité se concentre sur le contrôle des processus et la caractérisation des défauts sur divers substrats d'emballage de premier plan. Il peut gérer des substrats d'emballage complexes et évolués tels que le ventilateur-ventilateur (FIFO) et le silicium à travers les applications (TSV). La machine d'imagerie de TENCOR UV 1050 a des capacités de zoom supérieures pour l'image et l'inspection des caractéristiques en détail amplifié à différents niveaux de grossissement. De plus, ses algorithmes propriétaires de reconnaissance de motifs permettent de localiser et d'identifier avec précision les défauts afin d'assurer une navigation par étapes précise et fiable. Cet outil a une architecture d'imagerie interfaciale qui fournit une excellente clarté d'image et un taux de capture d'image allant jusqu'à 350 volts par seconde. Cela permet une détection de bord plus rapide et l'acquisition d'image, tandis que la stabilité de la tache laser permet une précision de pointage. De plus, les puissants outils d'édition et de révision des défauts permettent de corriger avec précision l'alignement des images et de détecter et classer automatiquement les défauts. UV 1050 dispose également d'un modèle intégré de contrôle et de classification des défauts à haute performance, conçu pour simplifier et automatiser l'analyse et la classification des défauts. Cela comprend une inspection automatique avancée ligne par ligne, la détection des défauts et les capacités d'examen. Cette inspection assure l'identification, la catégorisation et la classification exactes des défauts. L'équipement peut également être utilisé pour fournir des données statistiques complètes sur les performances des appareils et les tendances des défauts, ainsi que le suivi des défauts. Enfin, KLA/TENCOR UV 1050 propose également une gamme de fonctions logicielles automatisées telles que la discrimination, le filtrage, le tri et le tracé qui permettent une analyse rapide et précise des données de défaut. Ce système est idéal pour les applications d'emballage avancées, telles que le ventilateur en soufflante, le silicium à travers, l'emballage 3D et d'autres substrats à haute densité. De plus, KLA UV 1050 fournit des mesures de taille de défaut supérieures avec des capacités de fraisage et d'analyse statistique, ce qui rend cet outil de métrologie idéal pour le contrôle des processus et les efforts d'amélioration continue.
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