Occasion KOBELCO / LEO LER #293642527 à vendre en France

ID: 293642527
Edge roll off measuring system Display types: 2D / 3D.
KOBELCO/LEO LER est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de haute technologie pour semi-conducteurs. Le système est conçu pour analyser et inspecter avec précision les plaquettes pendant le processus de fabrication des plaquettes. Il utilise la technologie de pointe pour fournir des mesures de haute précision des plaquettes, et assurer la plus haute qualité possible. LEO LER utilise une combinaison de diverses mesures de métrologie, telles que le contrôle chromatique, l'interférométrie et la microscopie électronique à balayage. Contrôle chromatique mesure la couleur d'un échantillon, permettant l'identification et la détection d'éventuels défauts sur la plaquette. L'interférométrie utilise un miroir tournant pour interférer les ondes lumineuses, ce qui permet d'analyser la topographie de surface de la plaquette. Pendant ce temps, la microscopie électronique à balayage est une technique d'imagerie qui utilise des électrons pour former une image de la composition de la plaquette. De plus, l'unité KOBELCO LER est capable d'effectuer une imagerie 3D de surfaces entières de plaquettes. Cela se fait en combinant toutes les mesures de métrologie et les données recueillies à partir des scans. La machine est alors capable de détecter des défauts, des anomalies de surface et différents matériaux présents sur une plaquette. Il peut également mesurer l'épaisseur et l'orientation des caractéristiques, telles que les portes et les lignes d'espacement. En outre, LER met en œuvre un certain nombre de fonctionnalités avancées pour garantir une grande précision et fiabilité. Par exemple, l'outil utilise une capacité d'inspection automatique des défauts, qui permet aux opérateurs de surveiller le processus en temps réel. De plus, un actif complet de reconnaissance de l'identité des plaquettes est mis en place pour garantir des résultats et une exactitude uniformes. Dans l'ensemble, KOBELCO/LEO LER est un modèle incroyablement avancé qui fournit une analyse complète et précise des plaquettes semi-conductrices. Avec sa puissante gamme de mesures de métrologie et ses fonctionnalités avancées, l'équipement offre aux utilisateurs un moyen fiable et précis de tester et d'inspecter les plaquettes.
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