Occasion KOBELCO / LEO LTA #293642502 à vendre en France

L'équipement KOBELCO/LEO LTA est un système d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe conçu pour mesurer les caractéristiques géométriques et électriques des plaquettes semi-conductrices. Son application principale consiste à vérifier la conformité aux spécifications et à garantir la stabilité du processus, ainsi qu'à fournir des informations complètes sur les variations entre les plaques. L'unité est équipée de deux étages qui mesurent simultanément les caractéristiques géométriques d'une plaquette (texture de surface et épaisseur) et les paramètres électriques (résistivité et isolation). La première étape comporte jusqu'à 16 mesures physiques de la plaquette, y compris le profil de surface, les dimensions et le matériau non conducteur tels que des oxydes ou d'autres couches isolantes. La deuxième étape effectue des mesures électriques de précision de la plaquette, y compris la résistance de contact et la résistance d'isolation. La machine utilise une approche brevetée à double essai, permettant une évaluation des données en temps réel sur les caractéristiques géométriques et électriques d'une plaquette. Cela permet d'effectuer des tests à haut débit, de réduire le temps d'essai et d'économiser un temps de production précieux. En outre, l'outil est capable de détecter automatiquement les défauts et les petites variations, aidant les producteurs à maintenir la stabilité du processus. L'actif est conçu pour la reproductibilité et la précision. Toutes les mesures sont répétables et précises à l'intérieur des micro-mètres. La répétabilité précise du modèle permet également d'empiler les plaquettes sans affecter la précision de mesure. La précision de l'équipement est encore améliorée avec des algorithmes spéciaux qui rendent les mesures de résistance de contact réalisables jusqu'à une échelle piciohm. LEO est un système de test et de métrologie efficace, mais puissant. Avec son approche à double essai et sa répétabilité précise, cette unité permet une mesure rapide et précise des caractéristiques géométriques et électriques d'une plaquette. Cela garantit la répétabilité du procédé et permet un meilleur contrôle de la production. En outre, la machine est conçue pour minimiser le temps de production en ne nécessitant qu'une seule passe pour des résultats précis.