Occasion MICROTRAC Nanotrac 150 #9074226 à vendre en France
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ID: 9074226
Particle inspection system
Range: Measurement capability from 0.0008 to 6.5 microns
Rapid analysis: 15-30 seconds.
Le Nanotrac 150 de MICROTRAC est un équipement multifonctionnel utilisé pour l'analyse des points d'extrémité des plaquettes dans une variété d'applications allant de l'inspection de base de la qualité de surface à la métrologie très avancée. Il combine la puissance des techniques dynamiques et passives pour garantir des résultats précis et reproductibles. En tant que technique dynamique, le Nanotrac 150 utilise un microscope électronique à balayage pour générer une série d'images qui fournissent une vue tridimensionnelle en temps réel de la surface de la plaquette. En plus de l'analyse topographique, le système peut également fournir des mesures de la taille des fonctionnalités, des caractérisations des défauts et des évaluations de l'intégrité des paquets. L'unité comprend des capacités automatisées de détection et d'analyse des fonctions qui permettent de recueillir rapidement et précisément des données qualitatives et quantitatives. En tant que technique passive, MICROTRAC Nanotrac 150 combine interférométrie à la lumière blanche et microscopie confocale pour mesurer de petites caractéristiques ou des hauteurs de profil dans les structures à faible et à haut rapport d'aspect. Les caractéristiques telles que la hauteur du pont, les lignes de scribe et les hauteurs de bosse peuvent être mesurées rapidement et avec précision avec cette machine. Outre les techniques précitées, le Nanotrac 150 utilise un étage intégré de microscope et de balayage pour fournir des cartes de plaquettes et d'autres solutions d'imagerie. Un étage tournant peut être utilisé pour mesurer des largeurs de caractéristiques ou d'autres paramètres avec une grande précision sur toute la surface de la plaquette. L'outil comprend également la capacité de contrôler l'atmosphère à l'intérieur de la chambre, pour s'assurer que l'imagerie ou les mesures d'échantillons ne sont pas affectées par les influences extérieures de l'environnement. MICROTRAC Nanotrac 150 est devenu un outil essentiel dans les industries de fabrication de semi-conducteurs et de plaquettes. En fournissant des mesures fiables et répétables en mode passif et dynamique, le Nanotrac 150 s'est imposé comme une référence de qualité. Sa capacité à fournir une « fenêtre atmosphérique » à partir des conditions ambiantes dans lesquelles l'analyse et les mesures ne sont pas perturbées par des influences extérieures et sa capacité à obtenir des mesures détaillées à partir de petites caractéristiques ou de structures à haut rapport d'aspect sont des attributs qui ont fait de MICROTRAC Nanotrac 150 un outil critique pour l'analyse des plaquettes et la métrologie.
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