Occasion NANOMETRICS Atlas #9221857 à vendre en France
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Vendu
ID: 9221857
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2006
OCD Metrology system, 6"
ATLAS-M Analysis platform
P/N: 1000-01046 Rev B
Single ASYST load port
Tool upgraded
With particle contamination cover in 2016
Parts non-functional:
Polarizer
Torret: 4x - 15x
2006 vintage.
NANOMETRICS Atlas est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie qui est conçu principalement pour être utilisé dans les installations de fabrication de semi-conducteurs et de recherche. Le système est capable de mesurer une grande variété de paramètres et de caractéristiques sur des plaquettes de différentes tailles avec précision et répétabilité. L'unité dispose d'un détecteur CCD haute résolution et peut mesurer diverses pentes, puits de gravure, topographie, structure des grains, et d'autres caractéristiques de la plaquette dans des détails très précis. Le cœur de la machine est Atlas Metrology Station. Il s'agit d'un outil modulaire composé d'un actif d'imagerie par réseau plan focal (FPA), d'une paire de systèmes d'imagerie par projecteur à fente, d'un scanner à réflectance, d'un interféromètre laser et d'un profileur optique. Ces composants permettent à NANOMETRICS Atlas de fournir une précision sans précédent pour mesurer des caractéristiques aussi petites que 500 microns de diamètre, à des résolutions extrêmement fines de 0,1 nanomètres. Le modèle est capable d'effectuer des mesures simultanées sur plusieurs plaquettes avec son interface utilisateur facile à utiliser. L'utilisateur peut choisir le type de mesure à effectuer sur chaque plaquette, avec des exigences automatisées qui sélectionnent la bonne combinaison de paramètres pour la mesure de précision. Atlas peut stocker des données et des résultats sur son équipement sécurisé et en réseau et peut interagir directement avec d'autres outils dans le processus de fabrication. Pour une analyse plus approfondie, NANOMETRICS Atlas comprend un logiciel spécialisé pour produire divers diagrammes et rapports statistiques, ainsi qu'une fonction intégrée de tracé graphique. Il est également capable de s'intégrer à d'autres outils en réseau, tels que des analyseurs de données ou des logiciels statistiques, pour augmenter encore son utilité. Atlas est un système puissant conçu pour répondre aux besoins des installations de fabrication et de recherche de semi-conducteurs les plus exigeantes. Sa combinaison de capacités de mesure de précision, de connectivité réseau et d'interface utilisateur intuitive en font une unité idéale pour tout laboratoire nécessitant une métrologie haute performance.
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