Occasion NANOMETRICS Atlas #9256431 à vendre en France
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NANOMETRICS Atlas est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe utilisé par l'industrie des semi-conducteurs, qui permet de tester et d'inspecter des structures ayant des caractéristiques inférieures à 220 nm et pouvant atteindre 28 µm. Le système est conçu pour effectuer la re-caractérisation à la volée des puces, fournissant des données précises sur le dispositif et les performances du processus et donnant une compréhension des phénomènes physiques sous-jacents au cours du processus. Atlas combine des capacités de test électrique, de métrologie et d'imagerie en une seule plate-forme dans un ensemble automatisé et optimisé. Grâce à sa haute performance et à sa fiabilité, NANOMETRICS Atlas est le choix idéal pour les essais de plaquettes critiques et les applications de métrologie. Atlas peut effectuer une gamme de tests sur des échantillons de plaquettes, des mesures non destructives de la résistance des feuilles électriques aux essais paramétriques au niveau des plaquettes, et des mesures de retard de grille au fraisage automatisé du faisceau d'ions. Son appareil photo à microscope optique intégré et à couplage de charge (CCD) permet une imagerie haute résolution et des micrographies de structures jusqu'à 22 nanomètres, tandis que son étage de wafer haute précision permet des tests de performance reproductibles et précis. Le microscope électronique à balayage intégré (SEM) permet l'imagerie de surface, des mesures d'épaisseur et de dimensions critiques (CD), ainsi que des mesures de topographie et de rugosité. Le SEM peut être utilisé en combinaison avec le microscope optique pour l'imagerie et l'enregistrement côte à côte, permettant une caractérisation complexe des caractéristiques et des structures. Le logiciel de contrôle automatisé sophistiqué de NANOMETRICS Atlas permet un contrôle précis de la pression et l'optimisation des paramètres pendant le processus d'essai et de métrologie, tandis que l'acquisition de données robuste permet une mesure précise des paramètres de l'appareil et électriques. En outre, la machine dispose de standards technologiques prêts à l'emploi, parfaits pour l'intégration dans des environnements de salle blanche. En conclusion, Atlas est un outil inestimable pour l'industrie des semi-conducteurs, conçu pour fournir des données précises et robustes pour une gamme d'applications d'essais de plaquettes et de métrologie. Sa grande précision et ses performances inégalées lui garantissent de rester un outil fiable pour le test des plaquettes et l'optimisation des processus.
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