Occasion NANOMETRICS IVS 185 #9018709 à vendre en France
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ID: 9018709
Automatic measurement system, 6" - 8"
Resolution: 1um
90wph
Flat Panel Monitor
Integrated Windows server with hard drive ghost
Rack mounted UPS system
Metro Boost real time analysis Software
150X objective
SECS II package
GEM package
V1.810
PC DOS 7.0
ACV (Accuvision) with Netscape, INXS based
CD and overlay measurements in the same recipe
Performs on copper, CMP, STI, and tungsten plug
Structural metrology algorithms CD-Z, CD-Offset, CD-Step, die matrix placement, and adaptive contact
Adaptive algorithms
Automation with <0.1 degree pre-alignment accuracy.
NANOMETRICS IVS 185 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui aide les ingénieurs dans le développement de composants électroniques de nouvelle génération. Ce type de système est conçu pour fournir des lectures plus précises et répétables dans la production d'appareils de haute technologie. Il permet de mesurer divers paramètres du dispositif tels que les propriétés électriques, thermiques et mécaniques. Dans sa configuration standard, l'IVS 185 contient plusieurs sous-systèmes intégrés dont un étage de contrôle de mouvement, un microscope vidéo, un profileur de métrologie et un instrument d'inspection. Celles-ci comprennent une unité d'inspection et de métrologie des plaquettes très sensible et précise au niveau de la recherche et de la fabrication. L'étage de commande de mouvement est une machine de positionnement mécanique paramétrique qui fournit des points de mesure stables en contrôlant la position et l'orientation du dispositif sur la plaquette. Le microscope vidéo est équipé de capacités de focalisation et de grossissement haut de gamme pour l'acquisition de données en détail et supporte à la fois le champ lumineux et l'imagerie en champ sombre. Le profileur de métrologie est un instrument ultraprécis dédié qui capture la topographie de surface et les informations géométriques du dispositif à différentes étapes de sa fabrication. L'instrument d'inspection comprend une caméra CCD et des fonctions avancées pour détecter et quantifier les défauts de l'appareil tels que les rayures, la contamination de surface et les différences de taille. Le NANOMETRICS IVS 185 est également équipé de capacités d'identification de matériaux de haute qualité. Ces capacités comprennent des spectromètres à émission optique et des détecteurs de fluorescence aux rayons X qui permettent des mesures rapides et précises de la composition chimique. De plus, l'outil fournit une collecte et une analyse de données complètes à des fins d'assurance de la qualité, des descriptions détaillées des processus à l'affichage graphique des paramètres de performance de l'appareil. IVS 185 est un outil multifonctionnel d'essai et de métrologie de plaquettes utilisé pour un large éventail d'applications de recherche et de processus liés aux plaquettes. Il offre des avantages significatifs par rapport aux générations précédentes de systèmes d'essai de plaquettes, y compris la meilleure précision de classe, la vitesse et la flexibilité. Avec sa grande variété d'options d'évolutivité et d'intégration, NANOMETRICS IVS 185 révolutionne la façon dont les ingénieurs conçoivent et développent les composants électroniques les plus avancés d'aujourd'hui.
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