Occasion NANOMETRICS LYNX #9203178 à vendre en France
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ID: 9203178
Style Vintage: 2010
Critical dimension measurement system
EFEM With (2) NANOMETRICS Metro
Missing parts:
Lamp housing
Relay lens
Nano OCD
Loading configuration: (4) Load ports
Power rating: 200 VAC~240 VAC, 1 Phase
2010 vintage.
NANOMETRICS LYNX est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il dispose d'une interface facile à utiliser et accepte jusqu'à 25 pouces de diamètres de substrat. Le système est équipé d'une variété de fonctionnalités telles que la couverture de zone élevée, l'inspection et l'analyse avancées, le traitement rapide de l'image, et l'analyse des caractéristiques. Il exploite la technologie de caméras de pointe et permet des mesures complètes et partielles des échantillons pour répondre à différentes exigences d'essai. L'unité utilise des techniques algorithmiques avancées pour mesurer de petites zones de la plaquette avec un degré élevé de précision. Il soutient l'utilisation de techniques avancées de réduction des défauts telles que l'appariement des motifs et la moyenne des surfaces. Les données d'image sont acquises et analysées avec un algorithme qui détermine le type, la quantité et l'emplacement des défauts. Cela permet aux ingénieurs de prendre des décisions éclairées dans les processus d'optimisation du rendement des plaquettes. En plus de l'inspection des plaquettes et de la métrologie, la machine peut également mesurer la taille et l'épaisseur des films minces. Il utilise des détecteurs de spectroscopie à quatre canaux ainsi qu'un polariseur polarisé quad pour analyser les couches minces. Cela permet aux utilisateurs d'identifier la présence de déformations dans le film et d'effectuer des mesures précises de l'épaisseur du film. L'outil peut être intégré à divers équipements périphériques pour étendre ses capacités à la caractérisation des matériaux. Il peut être couplé à un actif X-Ray Diffraction/XRD ou X-Ray Photoelectron/XPS pour l'analyse des matériaux de surface et/ou de surface proche. Il peut également être relié à un modèle de microscope électronique optique/balayage ou transmission/TEM pour d'autres analyses approfondies des échantillons de matériaux. Enfin, l'équipement est conçu à l'aide de modules modulaires pour faciliter les mises à niveau et la personnalisation du système en fonction des besoins des clients. En conséquence, l'unité est très évolutive et peut facilement être adaptée à différents produits et procédés. En conclusion, LYNX est une puissante machine de test et de métrologie des plaquettes qui permet des tests rapides, précis et fiables des substrats semi-conducteurs. Il exploite des techniques avancées de traitement, d'analyse et de mesure de l'image et convient à une variété d'applications. L'outil est hautement personnalisable et peut être adapté aux besoins des utilisateurs.
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