Occasion NOVA V2600 #9397357 à vendre en France

NOVA V2600
ID: 9397357
Integrated CMP Endpoint film measurement system.
NOVA V2600 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes haut de gamme conçu pour la fabrication de semi-conducteurs de pointe et les lignes de fabrication-distribution. Il est capable d'effectuer tous les types de tâches d'essai et de métrologie telles que l'essai électrique de balayage, l'essai optique, le masquage et l'inspection des défauts, les essais de cisaillement et de traction des emballages, et la caractérisation optique et des particules. Le système se compose de deux modules - la station d'essai optique et électrique (SET) et la station de métrologie (MS). L'OETS se compose d'une station de test optique et électrique modulaire, qui utilise un bras robotique automatisé pour effectuer des tests au niveau des plaquettes. L'unité prend en charge la métrologie 2D et 3D et les mesures électriques et peut être utilisée pour mesurer rapidement et avec précision des paramètres tels que la concentration de dopants, la densité de défauts et d'impuretés, le rendement du dispositif et d'autres paramètres critiques liés au processus. La station de métrologie abrite une gamme d'instruments de métrologie et d'imagerie tels que les microscopes électroniques à balayage (SEM), les microscopes à force atomique (AFM) et les microscopes laser confocaux (CLM). Il contient également une variété d'instruments spectroscopiques, dont les spectromètres infrarouges à transformée de Fourier (FTIRs), les spectromètres photoélectrons à rayons X (XPS) et les spectromètres Raman. Ces instruments sont utilisés pour mesurer les paramètres de métrologie et d'imagerie au niveau de la plaquette, y compris la profondeur de gravure, la densité, la topographie, l'angle d'interface, la rugosité de surface et d'autres variables de processus critiques. V2600 comprend une gamme de fonctions automatiques, telles que l'acquisition et l'analyse automatisées de données, permettant aux utilisateurs d'analyser rapidement et avec précision les données. La machine est capable de s'intégrer à d'autres logiciels tels que les paquets de contrôle des processus statistiques (SPC) et d'autres logiciels de conception et de fabrication assistés par ordinateur (CAO/CAM). Grâce à ses capacités avancées d'analyse des données et de présentation de rapports, il fournit un appui décisionnel avancé pour l'amélioration et l'optimisation des processus. En termes de sécurité, l'outil est conçu pour répondre aux normes de sécurité de l'industrie des semi-conducteurs, avec de multiples couches de détection de sécurité incluant des emboîtements supplémentaires et une fonction de sécurité intégrée vérifiée. Ces caractéristiques garantissent que l'actif ne sera pas activé en présence d'un environnement dangereux et qu'il pourra être exploité en toute sécurité dans un environnement de production. Dans l'ensemble, NOVA V2600 est un modèle puissant et fiable d'essai de plaquettes et de métrologie qui fournit une solution complète pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Ses systèmes et fonctionnalités avancés permettent aux utilisateurs d'analyser rapidement et avec précision les données, d'identifier les défauts, d'optimiser les processus et d'améliorer la qualité. En outre, ses caractéristiques de sécurité garantissent qu'il peut être utilisé de manière sûre et efficace.
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