Occasion OAI 311 #9169990 à vendre en France
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OAI 311 est un équipement d'essai et de métrologie utilisé par les fabricants de semi-conducteurs. Il offre une gamme complète de capacités de métrologie des plaquettes, y compris la surveillance de la taille et de la composition des particules, la cartographie des défauts, l'inspection optique, l'analyse de la contamination et les mesures des dimensions critiques. Le système utilise la spectroscopie dispersive d'énergie (EDS), qui permet d'analyser la composition chimique et la taille des particules d'un échantillon. Il utilise un nouveau détecteur à rayons X pour mesurer la taille et la forme des particules jusqu'à la résolution à l'échelle du nanomètre. De plus, l'unité est capable de détecter, d'isoler et d'analyser divers défauts possibles de la surface de la plaquette, tels que des micro-fissures, des particules et des défauts préexistants. En plus de l'EDS, la machine utilise un microscope électronique à balayage (SEM) pour fournir aux utilisateurs la visualisation des caractéristiques de surface d'une plaquette, y compris les chemins de câblage, la largeur des lignes, la topologie du terrain et les emplacements de défauts. Le SEM passe également un faisceau d'électrons à travers l'échantillon, ce qui permet de détecter des contaminants, des particules chargées et d'autres éléments nanométriques. Ces capacités sont complétées par un outil de contrôle optique, qui capture les images de la surface de la plaquette et les traite pour des mesures de précision. L'atout comprend également une capacité de métrologie de mesure, qui permet aux utilisateurs de mesurer les dimensions critiques d'une plaquette - comme la largeur de la grille, la profondeur de contact et le profil de dopage - avec une précision de niveau nanométrique. Cette analyse détaillée permet un meilleur contrôle de la qualité du traitement des plaquettes, offrant aux clients une fiabilité et une assurance qualité assurées. En résumé, 311 offre une gamme avancée de capacités technologiques, permettant d'analyser à la fois la composition des particules et les mesures de dimensions critiques avec une résolution au niveau du nanomètre. Ses capacités d'analyse des défauts et de métrologie donnent confiance aux clients dans la précision et la fiabilité de leurs rendements de traitement des plaquettes.
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