Occasion RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu #293665001 à vendre en France
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RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de haute précision et non destructif adapté à la production commerciale de dispositifs semi-conducteurs. Il a une excellente précision pour les grandes tailles de plaquettes, avec un grand champ de vision et un capteur d'image haute résolution avec une plage dynamique allant jusqu'à 16 bits. En outre, il est capable de mesurer des paramètres électriques qui caractérisent les performances du dispositif, tels que la mobilité, comme la résistance des tôles et la résistance de contact. Le système comprend un défilement d'images de 1000mm de large, deux sources lumineuses, un contrôle linéaire précis de l'étage et une unité optique complexe. Il est fabriqué en acier de qualité supérieure pour la durabilité et la stabilisation de la température, permettant une collecte de données fiable même dans des environnements de mesure variés et difficiles. La capacité d'imagerie optique de haute précision de RUDOLPH METAPULSE 200XCU est conçue pour créer un modèle de caractérisation électrique basé sur la disposition des appareils. Cette capacité permet un contrôle microscopique non destructif, tel que la caractérisation des micro-vides dans les structures des dispositifs semi-conducteurs, le calcul de l'épaisseur de l'oxyde et l'évaluation des effets anisotropes d'un dispositif. La qualité de l'imagerie permet une inspection haute résolution des différentes structures de l'appareil et une analyse pour le contrôle du processus et l'amélioration du rendement. Les capacités de collecte de données de METAPULSE 200X CU peuvent être configurées pour mesurer des paramètres tels que la carte de la plaquette, le condensateur, le contact/via et la prédiction/tendance plane. Il est conçu avec une machine d'indexation intégrée, qui permet la répétabilité et maintient la précision des données pendant de longues sessions de mesure consécutives. De plus, pour caractériser la performance dynamique de l'appareil, METAPULSE 200 X CU peut recueillir des données avec réglage de fréquence et caractériser le profil de l'appareil pour une gamme d'excitations de polarisation AC/DC allant de 0Hz à 10MHz. Pour la précision des données, l'outil supporte également la mesure simultanée avec de nombreuses sondes électriques pour capturer les effets parasites, tels que la résistance de contact. Il est également conçu pour réduire le bruit de mesure et les erreurs de données du rebond de contact avec des temps de décantation plus rapides. RUDOLPH METAPULSE 200 X CU est également facilement évolutif et offre un débit de données élevé pour un suivi efficace de la production. L'interface utilisateur intuitive offre une configuration facile des configurations de mesure complexes et des mesures automatisées, et les données collectées peuvent être facilement visualisées pour analyse. Globalement, grâce à sa grande précision et à ses capacités d'évaluation des données, METAPULSE 200XCU est un excellent choix pour la production commerciale de dispositifs semi-conducteurs.
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