Occasion RUDOLPH MP 200XCU #9250762 à vendre en France
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ID: 9250762
Taille de la plaquette: 8"
System, 8"
Cu Film thickness measurement system.
RUDOLPH MP 200 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie qui fournit des données de mesure précises et complètes pour les appareils IC et MEMS. Ce système est composé d'un microscope électronique à balayage (SEM) à faisceau d'ions focalisé (FIB), d'un interféromètre laser (interféromètre) ou d'un microscope confocal à balayage laser (LSCM) avec du matériel et des logiciels intégrés pour l'analyse topographique des circuits et des dispositifs, ainsi que d'un vaste logiciel convivial (support de station de sonde). Le MP 200 est conçu pour répondre aux besoins de miniaturisation des dispositifs semi-conducteurs modernes, offrant une large gamme de capacités d'analyse allant de l'analyse électrique, optique, magnétique et des rayons X. L'unité est équipée d'un SEM haute résolution qui est utilisé pour l'imagerie, l'analyse et la métrologie. Sa technologie FIB est capable d'effectuer des modifications précises et précises des motifs nécessaires aux essais électriques. L'interféromètre laser permet de mesurer avec précision la planéité de la plaquette et les altérations des dimensions critiques (CD), tandis que le microscope confocal permet de visualiser en 3D des dispositifs orientés arbitrairement. Pour les mesures manuelles, l'outil est équipé d'une station de sonde polyvalente qui comprend deux étages 4 axes pour un alignement fin. La station de sonde fournit des informations quantitatives sur les géométries des plaquettes, les formes des profils et les épaisseurs des couches. Il dispose d'une suite d'outils de sondes et d'imagerie pour automatiser le fonctionnement et remettre en question les normes établies en matière de précision dimensionnelle. RUDOLPH MP 200 comprend également une interface graphique facile à utiliser, permettant aux utilisateurs de mettre rapidement en place des expériences complexes ou de simuler des mesures à l'aide d'une bibliothèque intuitive d'images d'échantillons. Cette interface graphique comprend également un certain nombre d'outils d'analyse pour le traitement et la déclaration des données, ainsi qu'une logique définie par l'utilisateur pour personnaliser les procédures expérimentales. En conclusion, MP 200 offre un ensemble complet de capacités d'essai et de métrologie qui répondent aux exigences de la technologie moderne des semi-conducteurs. Son matériel puissant, son logiciel intuitif et son interface graphique conviviale offrent une solution rentable pour acquérir des données complètes sur les IC et les appareils MEMS.
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