Occasion RUDOLPH MP 300XCU #9384457 à vendre en France
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ID: 9384457
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Cu Film thickness measurement systems, 12"
2003 vintage.
RUDOLPH MP 300XCU est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe. Il est conçu pour des mesures rapides et précises sur les plaques semi-conductrices et les substrats de film. Le système dispose d'une grande chambre d'échantillonnage de 13,6 po x 13,6 po pour accueillir de plus grandes plaquettes et une zone de mesure pour plusieurs structures à couches minces. Grâce à sa capacité de métrologie double face, les utilisateurs peuvent effectuer des mesures précises de l'épaisseur du film et de l'électricité des deux côtés de la plaquette. RUDOLPH MP 300 XCU est équipé d'une unité de positionnement mécanique triple couple pour assurer un alignement rapide et parallèle des substrats et une planéité dans le plan, tout en offrant une résolution élevée pour mesurer avec précision les dimensions des caractéristiques jusqu'à 1um. L'unique lecteur d'optique mobile G2 offre une précision de positionnement et une stabilité supérieures, avec une gamme allant jusqu'à ± 50um, et des vitesses allant jusqu'à 10um/seconde. L'ellipsomètre spectroscopique très précis et non destructif permet de mesurer avec précision les constantes optiques diélectriques et la dégradation de la rugosité de surface. Le spectrographe intégré est capable de mesurer simultanément les longueurs d'onde UV, VIS et NIR, avec une résolution de 0,03 nm. Le photomètre micro-pot ultra-rapide MP 300XCU permet d'identifier et de localiser les points d'intérêt sur l'échantillon pour une analyse plus approfondie. Avec son scanner rapide et ses algorithmes avancés, il peut acquérir des images de tailles aussi petites que 0.5um. La machine est également capable d'effectuer une analyse détaillée des défauts. Il dispose d'un traitement d'image avancé à haut grossissement et haute sensibilité, avec des algorithmes avancés pour la caractérisation des défauts. Il comprend également l'estimation de la profondeur et l'identification de la forme. MP 300 XCU est le choix idéal pour les environnements d'essai de production qui nécessitent des mesures de haute précision et de métrologie à grande vitesse. Avec ses capacités avancées de métrologie, d'imagerie et d'analyse des défauts, il est l'outil idéal pour toute application de test de plaquettes ou de substrats.
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