Occasion RUDOLPH MP1 #9397713 à vendre en France
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RUDOLPH MP1 est un équipement unique d'essai et de métrologie de plaquettes destiné à des applications de contrôle de processus, de métrologie avancée et d'inspection des défauts dans la fabrication de semi-conducteurs et de MEMS. Il est conçu pour être une solution rentable pour vérifier le contrôle des processus et faire progresser les performances de détection des défauts, ainsi qu'un système fiable pour les tâches de recherche et développement (R-D) de pointe, fournissant une combinaison puissante de balayage de wafer de haute précision, de caractérisation des défauts et d'imagerie automatisée. MP1 dispose d'un large éventail de capacités avancées d'inspection des défauts, y compris la manipulation et la numérisation automatisées des plaquettes, la classification des défauts, la mesure et l'imagerie laser automatisées, et de puissants outils d'analyse des données. L'unité est équipée d'une caméra RVB haute résolution pour capturer les images de couleur des défauts, et permet aux utilisateurs de zoomer dans et hors des zones d'intérêt sur la plaquette en déplaçant la caméra sur l'échantillon dans un motif de balayage. Cette caractéristique permet de caractériser des défauts subtils, tels que ceux à bords ronds, qui peuvent être difficiles à inspecter avec des systèmes classiques. RUDOLPH MP1 dispose également d'une machine de manutention automatique de plaquettes haute performance, conçue pour assurer un alignement précis et accélérer le processus de test. Cet outil est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre, avec une ouverture de balayage jusqu'à 200 x 200 mm, offrant amplement d'espace pour les essais. MP1 fournit également une gamme puissante d'outils matériels et logiciels pour la détection et la classification automatisées des défauts, qui peuvent être utilisés pour détecter et catégoriser un large éventail de défauts, tels que les vides, les contaminants, les résidus et les défauts de sous-surface. RUDOLPH MP1 offre également une suite de fonctionnalités de métrologie avancées, permettant aux utilisateurs d'obtenir des mesures fiables de caractéristiques telles que les largeurs de ligne et d'espace, les hauteurs de profil, les précisions d'axe Z et les niveaux de planéité sans avoir besoin d'outils spécialisés. Cet atout de métrologie sophistiqué peut être utilisé pour caractériser un large éventail de caractéristiques structurelles sur les plaquettes, telles que les largeurs de lignes, les densités, l'intégrité du signal et les caractéristiques du motif. En conclusion, MP1 est un modèle avancé d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir un contrôle efficace et fiable des processus, des capacités avancées de détection et de caractérisation des défauts, ainsi que de puissantes fonctionnalités de métrologie. Il est équipé d'une gamme d'outils matériels et logiciels de pointe, et est capable de manipuler une variété de tailles de plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre, offrant amplement d'espace pour les essais. L'équipement est facile à utiliser et peut être utilisé pour détecter et catégoriser un large éventail de défauts, ainsi que pour mesurer avec précision les caractéristiques structurelles sur les plaquettes, ce qui en fait une solution idéale pour le contrôle de processus difficile, la métrologie avancée et les applications d'inspection des défauts.
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