Occasion RUDOLPH WS 3840 #9136132 à vendre en France
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ID: 9136132
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Bump inspection system, 12"
Granite base air bearing XY stages
Vacuum chuck with rotation for 5", 6", 8" and 12" wafers
Z Slide for focus control and wafer loading / Unloading
OLYMPUS Optical head with 5 positions auto lens turret
Bright field lighting
Low angle dark field lighting
Objective lenses: 1.25x, 2.5x, 5x and 10x
4K TDI Line scan camera & electronics
Image frame grabber
Dual quad core XENON processor PC based 2D vision engine
Computer with 3.2GHz P4 processor
RAM: 1GB
Hard disk: 250 GB
(2) Hot swap bays
CDRW / DVDRW
Operating system: Window XP
Console arm with (2) flat panel color monitors
Keyboard and mouse
(4) Positions light tower
Data analysis and reporting
Color defect review
Mini-environment fan / Filter units (ISO Class 2)
Electronic wafer maps (KLAINF, EF, WWW, Semi G85 and SECS S12)
721713 Option
Xport
Wafer scanner
ISO Class 1 clean high speed wafer handling EFEM outfitted
With dual arm robot
Wafer thicknesses: (725um)
Down to 400 microns thickness for 12" wafers
Down to 190 microns thickness for 8" wafers
Automated whole wafer handling
Dual arm vacuum assist backside wafer handling
Minimal contact end effector
Integrated laminar clean air flow mini-environment (ULPA Filtration)
Robot with integrated mapper
721753 2 Option
Bridge load port
BROOKS Vision / Cassette pivot, 8"
XENON Dual quad processor 2D vision engine
72054 1 Option, 3D Inspection, Hi Res 3D Sensor
High resolution: 4 MHz
3D Sensor scans up to a .6mm swath
Depth of field: 200um
1U Rack mount chassis
Dual INTEL quad-core XENON processor 2.5 GHz
DRAM: 2GB
SATA Hard disk drive: 250 GB
CD ROM Drive
Ethernet
RUDOLPH PCIDSP Board
(5) Microns ultra high resolution 3D sensor
716983 1 Standard, 3D Height Verif Wafer, 100um, 300mm
716810 1 Option, Dual OCR
X Port
66807 1 Computer, Remote defect review
Wafer capability, 8"-12"
Ultra flat chuck: <5 Microns chuck
2010 vintage.
RUDOLPH WS 3840 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour les entreprises de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un système automatisé permettant d'intégrer et d'analyser les données de métrologie provenant de plusieurs appareils de mesure. L'unité consiste en une série de postes de travail performants connectés à un serveur central, chacun traitant et stockant des données de métrologie à partir d'un seul appareil de mesure. Il est capable de traiter plusieurs types de données de métrologie, y compris la zone de la plaquette, le pas, la taille de la matrice et le placement de la matrice. La machine est très précise et répétable, capable de détecter et d'analyser rapidement les changements dans la structure du dispositif. Il dispose également de fonctions d'imagerie 2D avancées pour analyser les nombres de défauts et les caractéristiques des plaquettes telles que les protrusions et le décompte de die. L'outil comprend également une foule d'autres fonctionnalités, y compris des logiciels faciles à utiliser et intuitifs qui permettent aux utilisateurs de configurer et d'accéder rapidement aux données d'analyse. Il dispose également d'un atout basé sur les paramètres qui permet de personnaliser les données d'analyse, les formats de sortie et les préférences des utilisateurs. Pour assurer la précision, le modèle utilise la reconnaissance de motifs pour détecter et analyser de petites variations de conception. Cela inclut l'optique adaptative qui peut ajuster la focalisation ou fournir un éclairage amélioré à travers un réseau de lentilles. L'équipement est construit avec un design robuste, permettant un haut niveau de fiabilité et de durabilité. Il offre également une évolutivité avancée, permettant aux utilisateurs d'effectuer facilement des tâches de métrologie à grande échelle. Enfin, le système offre un haut niveau de sécurité, permettant un accès à distance et des opérations. Il est conforme à plusieurs normes de l'industrie et est livré avec des services de support complets, y compris l'installation, la formation et la maintenance. En conclusion, RUDOLPH WS3840 est une unité de test et de métrologie avancée conçue pour répondre aux besoins des entreprises de dispositifs semi-conducteurs. Il fournit aux utilisateurs une gamme de fonctionnalités et de capacités, permettant des tests de métrologie précis et efficaces.
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