Occasion RUDOLPH WS 3840 #9198059 à vendre en France
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RUDOLPH WS 3840 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, le développement de processus et le contrôle des processus. Le système offre un large éventail de tests et de capacités de contrôle de processus très précis qui permettent aux utilisateurs d'inspecter et d'analyser efficacement tous les aspects de leurs processus de wafer. L'unité comprend un microscope haut de gamme piloté par ordinateur avec un objectif motorisé à haute vitesse, zoom capable de se concentrer rapidement et un logiciel interactif pour diriger le microscope et l'acquisition de données. L'optique de haute qualité du microscope fournit une uniformité de champ supérieure et moins de distorsion de bord, permettant l'analyse la plus précise des caractéristiques de l'échantillon. La conception optique utilise également un objectif télécentrique innovant de 4x5x10 mm, 0,08 μ m pour fournir une résolution et une précision sans précédent, même aux grossissements extrêmes. La machine dispose d'une variété de techniques de tests automatisés et de métrologie, y compris l'imagerie haute résolution, la détection automatisée des bords, l'imagerie spectrale intégrée, l'imagerie de diffraction de haute précision et un large éventail d'algorithmes de reconnaissance de motifs. L'outil est également équipé de modules logiciels pour calibrer et sélectionner automatiquement les paramètres du microscope tels que la longueur du foyer, la taille de la photographie, la position, la taille de l'ouverture et le type de foyer. L'actif assure le contrôle total de la plate-forme pour l'analyse détaillée des diverses étapes du processus de fabrication, telles que l'inspection des plaquettes, la photolithographie, la gravure, la bande sèche, la bande humide et l'examen des défauts. Le modèle propose également plusieurs méthodes pour inspecter rapidement les échantillons testés, telles que la métrologie de superposition et la filature des images de mort et la métrologie des dimensions critiques. L'équipement se concentre sur la fourniture de mesures précises au niveau du nanomètre, même lorsqu'il s'agit de petites caractéristiques, qui peuvent être difficiles à mesurer et à inspecter. Le système a été conçu pour résoudre les détails avec une résolution de 0,2 à 0,5nm, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats très précis. En outre, le logiciel de l'unité est conçu pour l'acquisition rapide et précise de données, permettant jusqu'à huit plaquettes à tester et à surveiller simultanément. En résumé, RUDOLPH WS3840 est une machine de test et de métrologie des plaquettes extrêmement polyvalente et précise. Avec son puissant microscope, ses techniques automatisées de test et de métrologie, et ses capacités logicielles innovantes, cet outil est le choix idéal pour des mesures précises dans l'industrie des semi-conducteurs.
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