Occasion RUDOLPH WS 3840 #9392887 à vendre en France
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ID: 9392887
Style Vintage: 2009
Bump inspection system
(2) Load ports
Chamber
2009 vintage.
RUDOLPH WS 3840 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer à la fine pointe de la technologie, conçu pour une analyse très sensible des caractéristiques des wafers. Le système est apprécié par les chercheurs, car sa précision exceptionnelle et sa reproductibilité reposent sur une combinaison de techniques optiques et de radiographie. Il utilise des techniques de pointe d'optique et de rayons X pour l'image et la mesure de diverses propriétés d'une plaquette, telles que l'épaisseur, la largeur des lignes, la netteté des bords et l'uniformité des motifs, en haute résolution. RUDOLPH WS3840 est composé d'un module de métrologie, d'une plateforme prober et d'un progiciel. Le module de métrologie est composé de plusieurs composants tels qu'un microscope optique, une unité SEM, un détecteur CCD et une unité de positionnement d'étages. Le module optique de la machine utilise la lumière visible pour observer des échantillons dans une plage de grossissement élevée (jusqu'à 25,000X) et pour mesurer les contours des caractéristiques sur la plaquette ainsi que leur position. L'unité SEM de l'outil effectue une analyse aux rayons X, où un faisceau d'électrons est envoyé à l'échantillon pour produire une image de la zone. Le détecteur CCD capte des informations provenant des images produites à la fois par le module optique et l'unité SEM, permettant également la mesure quantitative des caractéristiques sur la plaquette. Enfin, la plate-forme Prober gère le transport de la plaquette et la manipulation des échantillons, permettant de déplacer la plaquette entre le module de métrologie et la Prober, qui contourne les plages de contact pour le test. Le progiciel de l'actif permet l'acquisition, le traitement et l'analyse des résultats. En outre, le modèle offre des caractéristiques telles qu'un alignement automatisé des plaquettes agnostique d'orientation et de type des plaquettes, ainsi qu'une meilleure précision de positionnement des étages et une capacité de répétition. Ceci est renforcé par les multiples fonctions de vérification et de correction des erreurs de l'équipement, réduisant les erreurs imposées par l'opérateur. D'autres fonctionnalités comprennent des techniques personnalisables de définition de données, permettant le stockage personnalisable de données et la conservation à long terme des résultats. Le système offre également des fonctionnalités avancées de sécurité et de contrôle de qualité industrielle, y compris des dispositifs intégrés de sécurité et de protection contre les radiations. Cela permet de s'assurer que l'unité n'endommage pas la plaquette expédiée, évitant ainsi des pertes ou des dommages coûteux. WS 3840 est une machine d'essai et de métrologie de plaquettes très sophistiquée, spécialement conçue pour répondre aux exigences de la recherche avancée concernant la caractérisation des caractéristiques des plaquettes. Il offre diverses fonctionnalités et capacités en termes de précision, de sécurité et d'analyse, ce qui en fait un outil fiable et polyvalent pour mesurer les caractéristiques très sensibles d'une plaquette. En combinant des techniques optiques à haute résolution et des techniques de rayons X en un seul outil, WS3840 est capable de fournir des résultats fiables et précis d'une manière rentable et sensible au temps.
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