Occasion SCI FilmTek 2000 #9186490 à vendre en France
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ID: 9186490
Taille de la plaquette: 6"
Film thickness and reflectivity measurement tool, 6".
SCI-Tek 2000 est un puissant équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des mesures avancées et précises d'une gamme de paramètres de traitement des plaquettes semi-conductrices et photovoltaïques. Le cœur du système est le module Unit Core 2000, qui est alimenté par un processeur multi-cœur puissant. Ce processeur fournit un traitement de données de haute précision, ainsi qu'un contrôle robuste et en temps réel de la machine. Il peut être configuré pour accueillir jusqu'à huit têtes d'inspection optique différentes. L'outil est équipé de plusieurs systèmes optiques avancés, dont les systèmes visibles, la spectroscopie infrarouge proche (NIR) et la microscopie électronique à balayage (SEM). Le module d'optique des systèmes visibles comprend des inspections optiques en champ lumineux et sombre, la mesure de la réflectance des plaquettes et des angles de diffusion pour mesurer avec précision une gamme de caractéristiques de métrologie, telles que les résidus de gravure sèche, l'uniformité des nanostructures et les caractéristiques de lithographie par faisceau d'électrons (EBL). L'actif NIR est utilisé pour mesurer l'épaisseur des couches minces, tandis que le modèle SEM permet une analyse détaillée des matériaux et des procédés, et peut être utilisé pour mesurer les dimensions critiques. Un large éventail d'étapes d'échantillonnage sont disponibles pour les essais. Les options comprennent des étapes manuelles et automatisées ; pour les étapes manuelles, les utilisateurs peuvent ajuster les paramètres en temps réel avec un joystick ou une roue à main. L'équipement peut également accueillir des étages mécaniques à deux axes pour l'inspection de grandes surfaces. La plage de température du système est contrôlée par des boucles PID en boucle fermée, assurant des tests et des mesures dans des conditions optimales. Une version intégrée de microscopie haute précision est disponible, offrant une précision pouvant atteindre 1 micron sur les paramètres de l'échantillon. Il existe un large éventail de logiciels disponibles pour la collecte et l'analyse des données, y compris les logiciels de recherche J, STK11 et SYNPRO. Les données générées à partir des tests peuvent être stockées et analysées sur l'unité embarquée ou transférées dans une base de données externe. La Machine Core 2000 de la SCI est disponible dans une gamme de configurations, adaptées aux besoins spécifiques des clients et aux exigences des applications. Il est bien adapté aux laboratoires de recherche et développement industriels, ainsi qu'aux installations de R-D et de traitement des wafers.
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