Occasion SDI SPV 1010 #9061419 à vendre en France
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SDI SPV 1010 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé pour évaluer les qualités des plaquettes à base de semi-conducteurs. Le produit offre une gamme de capacités analytiques, y compris la mesure de la hauteur de surface, l'imagerie optique, la cartographie de la planarité de surface et la caractérisation des caractéristiques. La capacité de mesure de la hauteur de surface du système permet une imagerie 3D précise et la mesure des surfaces de plaquettes et permet des processus avancés qui impliquent une précision ultra-élevée qui nécessite un contrôle dimensionnel serré. Pour garantir des mesures précises et fiables, l'unité propose une procédure de décompression automatisée pour garantir un positionnement en z précis et trois capteurs capacitifs à axe Z. La fonction d'imagerie optique permet aux utilisateurs d'examiner en détail les motifs de surface et la topologie des plaquettes. Cela se fait à l'aide de deux caméras d'imagerie de 26 cm, qui fournissent jusqu'à 20x grossissement et 12,5 µm résolution latérale. En outre, la machine d'éclairage utilise un éclairage Köhler lumineux, avec LED blanche et lumière fluorescente pour un éclairage approprié. L'outil comprend également une cartographie de planarité de surface, qui fournit des informations visuelles et quantitatives sur la topographie de surface d'une plaquette, y compris la planéité, la non-uniformité et la variance. En utilisant des algorithmes, l'actif peut détecter des caractéristiques (p. ex. des bosses et des vides) à la surface de la plaquette. Enfin, la capacité de caractérisation des fonctionnalités de SPV 1010 permet aux utilisateurs de comprendre les formes, les tailles et la structure de la plaquette. Ceci est réalisé en utilisant divers algorithmes avancés, tels que la propriété essentielle, la discrimination de fonctionnalités, et la visualisation 3D. En résumé, SDI SPV 1010 est une solution robuste d'essai de plaquettes et de métrologie pour ceux de l'industrie des semi-conducteurs. Ses capacités de mesure de la hauteur de surface, d'imagerie optique, de cartographie de la planarité de surface et de caractérisation des caractéristiques assurent une analyse précise et détaillée des plaquettes, contribuant ainsi à l'optimisation des processus et à l'identification des problèmes.
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