Occasion SLOAN Dektak 303 Auto II #9124954 à vendre en France
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ID: 9124954
Thin film measurement system
Measuring range: 100 A to 1310KA
Vertical resolution: 1A in the 65000A
10A in the 655KA
20A in the 131 Micron
Data points per micron: 0.04 to 40
Scan length: 50 microns to 50 mm
Leveling: 2 point programmable or cursor leveling
Maximum sample thickness: 1.75 inches
Sample stage diameter: 6.375 inches
Stylus: 12.5 micron.
SLOAN Dektak 303 Auto II est un équipement automatisé conçu pour mesurer les hauteurs de pas de divers dispositifs semi-conducteurs. Ce système polyvalent et économique est équipé de capacités avancées de microscopie optique et d'imagerie numérique qui permettent de mesurer avec précision le mouvement vertical du profil de contact à la surface plane d'un substrat semi-conducteur. L'unité est capable de mesurer des tailles de caractéristiques jusqu'à un micromètre avec une grande précision, ce qui la rend idéale pour mesurer les hauteurs de pas des plaquettes dans une large gamme d'épaisseurs et de substrats. La machine utilise un microscope optique équipé d'un objectif télécentrique et d'un support de caméra incliné, ce qui fournit à l'utilisateur une vue de haut grossissement de la surface de la plaquette. L'objectif est conçu pour projeter une image claire des points de contact sur le plan image, tout en minimisant la distorsion d'image et les aberrations optiques. En outre, l'outil utilise un ordinateur à double axe contrôlé auto-focus actif, qui assure que chaque fonctionnalité est mesurée avec précision. L'ensemble du modèle est exploité via une interface utilisateur graphique (interface graphique) utilisant un moniteur couleur, clavier et entrée de souris. Cette conception intuitive permet à l'utilisateur de contrôler toutes les étapes de précision pendant la mesure, y compris le mouvement de l'étage, l'étalonnage en Z, l'étalonnage du capteur et le focus. De plus, l'équipement comprend des algorithmes logiciels pour le suivi, la mesure et l'analyse de plaquettes de différents endroits sur le substrat de l'échantillon. Le Dektak 303 Auto II est également équipé d'un réticule d'imagerie CCD haute résolution, qui fournit une vue précise de la surface de l'échantillon, permettant à l'utilisateur de mesurer les hauteurs de pas avec un haut degré de précision. La position réglable du réticule permet à l'utilisateur de contrôler le champ de vision, ce qui le rend adapté à une large gamme de substrats et de tailles. De plus, le système est capable de stocker jusqu'à 256 mesures par champ, ce qui permet de répéter les mesures et de réduire le temps nécessaire à la collecte des données. Dans l'ensemble, SLOAN Dektak 303 Auto II est un outil efficace de testeur de plaquettes et de métrologie. La combinaison de la microscopie optique avancée et de la technologie d'imagerie numérique la rend idéale pour mesurer les hauteurs de pas avec un haut degré de précision et de répétabilité. Son interface graphique intuitive et son réticule réglable rendent la machine conviviale et facile à utiliser, ce qui la rend adaptée à un large éventail d'applications.
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