Occasion SSM 490i #9407979 à vendre en France
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L'équipement SSM 490i d'essai de plaquettes et de métrologie est un outil intégré pour les essais non invasifs et la métrologie des dispositifs et matériaux semi-conducteurs. Le système combine la métrologie optique et les capteurs COTS pour fournir une analyse complète des matériaux des plaquettes, avec une précision et une précision élevées pour tester les dimensions, la contrainte et les propriétés de chaque plaquette. 490i convient à des applications d'essai et de métrologie allant des mesures de l'efficacité des procédés et des tests de détection des seuils jusqu'à l'identification et la caractérisation des matériaux. L'unité comprend une technologie de métrologie optique de pointe qui est utilisée pour mesurer et inspecter les plaquettes à des résolutions nanométriques avec une précision inférieure à un nanomètre. Cette mesure de métrologie nano-résolution permet aux chercheurs de quantifier l'effet des processus physiques et chimiques sur les couches minces de matériau de la plaquette. De plus, la machine peut mesurer la contrainte des couches minces individuelles sur la plaquette. Les capteurs COTS SSM 490i peuvent déterminer les dimensions critiques d'une plaquette ; cette méthode non invasive est très bénéfique pour la caractérisation et la production de dispositifs de haute fiabilité et rentables. Les capacités d'imagerie avancées de l'outil permettent également une imagerie haute résolution pour détecter les défauts et surveiller les rendements des processus. Il peut fournir une caractérisation détaillée de la texture de surface et de la rugosité d'une plaquette sur tout son diamètre. 490i est conçu pour être précis et fiable, ce qui réduit le temps nécessaire à la collecte des données. Cet atout utilise une collecte de données automatisée pour simplifier et accélérer le processus de test et de mesure en déduisant rapidement les résultats de plusieurs paramètres de mesure. De plus, le modèle comprend un support de substrat qui lui permet de mesurer des épaisseurs de plaquettes allant jusqu'à 15 millimètres avec une précision inférieure à cinq nanomètres. L'équipement SSM 490i d'essai de plaquettes et de métrologie est un outil avancé pour une variété d'applications de test et de mesure. Ses capteurs de métrologie optique et de COTS- permettent de tester les appareils et de caractériser les matériaux avec une précision, une précision et une vitesse élevées. Il est conçu pour la fiabilité et l'efficacité afin d'obtenir un rendement de processus de haute qualité et de réduire le temps de mise sur le marché.
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