Occasion SURFTENS OEG #9043976 à vendre en France
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SURFTENS OEG est un système spécialisé d'essai et de métrologie des plaquettes pour détecter la contamination des particules diélectriques sur les plaquettes semi-conductrices pendant le processus de fabrication. Il utilise une méthode de spectroscopie optique des émissions (OES) pour détecter, classer et cartographier les particules contaminées à une résolution exceptionnellement élevée. L'inspection des plaquettes semi-conductrices est une étape critique du processus d'assemblage et de fabrication, et il est essentiel de détecter et de minimiser les défauts qui pourraient nuire aux performances. OEG est conçu pour prendre des images haute résolution de la surface de la plaquette puis analyser ces images pour détecter les défauts éventuels. Plus précisément, le système utilise la spectroscopie OES pour effectuer l'identification et la cartographie des particules. Cette analyse détecte des particules en matériaux conducteurs, isolants ou semi-conducteurs en fonction de leur émission spectrale sous rayonnement infrarouge. Les résultats de l'analyse sont ensuite représentés dans une carte des particules montrant la concentration de différents types de particules à travers le champ de vision. Ces cartes des particules peuvent être utilisées pour identifier les zones de contamination, qui peuvent ensuite être analysées plus avant pour garantir les rendements les plus élevés de la production fiable de plaquettes. La précision et la résolution du système le rendent particulièrement avantageux pour la détection de défauts difficiles à trouver, tels que le mélange. Ceci se produit lorsqu'une zone concentrée de particules de contamination est difficile à détecter en une seule image, mais peut être identifiée en triant la taille et la composition des particules dans l'analyse OES. Cela permet à la fois d'améliorer le rendement et d'économiser les coûts, car il est moins nécessaire d'effectuer des étapes de nettoyage pour éliminer la contamination. L'avantage global de SURFTENS OEG est la capacité à détecter et classer la contamination des particules aux plus hauts niveaux de précision et de résolution, économisant du temps et de l'argent dans le processus tout en préservant la production de plaquettes de la plus haute qualité. Sa méthode de spectroscopie OES fournit des informations détaillées rapidement et avec précision, contribuant à assurer un produit de haute qualité à la fin du processus.
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