Occasion THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUV #9168988 à vendre en France
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ID: 9168988
Style Vintage: 1997
Thin film measurement system
Open cassette for 6/8 application
Upgraded from OP3260DUV
Non-Cu process
Vacuum handling
1997 vintage.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUV est un outil d'essai et de métrologie de plaquettes de pointe. Il est utilisé pour diverses applications telles que la métrologie, la caractérisation, l'analyse des défaillances, les mesures de la rugosité des bords de ligne et les essais des lignes de scribe. THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290DUV est capable de détecter des anomalies de surface de niveau micron telles que la rugosité de surface, la contamination des particules et les irrégularités de hauteur de pas. OPTIPROBE 3290 DUV utilise une combinaison d'interférométrie Deep Ultraviolet (DUV) et d'analyse de polarisation pour évaluer les caractéristiques de surface des plaquettes. OPTIPROBE 3290DUV est équipé d'un système laser ultraviolet profond, qui émet des faisceaux très cohérents et focalisés avec de faibles niveaux de bruit optique. Par ailleurs, sa plage de détection couvre de < 0,2 μ m à 3 μ m et la plage de grossissement des images laser est supérieure à 40 μ m. La combinaison du système laser DUV et de l'analyse de la lumière polarisée permet à THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUV de mesurer avec précision la température de surface des plaquettes. Cela fait de THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290DUV un outil idéal pour la cartographie et l'imagerie de température de précision. Ceci joue un rôle critique dans la détermination de la stabilité du substrat testé. OPTIPROBE 3290 DUV est également livré avec un progiciel intégré. Ce logiciel contient une variété d'outils d'analyse pour permettre l'acquisition et l'analyse de données efficaces. Il contient également de puissantes interfaces graphiques pour faciliter la visualisation des résultats de mesure. OPTIPROBE 3290DUV est conçu ergonomiquement et se présente sous une forme compacte. Cela le rend bien adapté pour les installations dans des espaces et environnements serrés avec un accès limité. Sa conception conviviale permet une configuration et une maintenance faciles. Dans l'ensemble, THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUV est l'un des systèmes d'essai et de métrologie de plaquettes les plus avancés sur le marché. Il fournit des résultats fiables et précis pour une variété d'applications. Sa capacité à mesurer les anomalies de surface du micron le rend particulièrement adapté à une analyse précise et détaillée.
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