Occasion THERMA-WAVE TP 300 #93220 à vendre en France
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THERMA-WAVE TP 300 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de haute précision conçu pour fournir des données fiables et précises pour l'évaluation de divers matériaux et procédés des plaquettes. Il est équipé de logiciels et de matériel de pointe pour fournir les normes les plus élevées dans la surveillance et la caractérisation des processus de wafer. Il est doté d'une source lumineuse proche infrarouge (NIR) à LED robuste qui est conçue pour fournir une uniformité et un débit lumineux supérieurs sur tous les sous-champs, permettant de mesurer avec précision divers paramètres de la plaquette tels que l'épaisseur, la planéité et l'indice de réfraction. Le système est équipé d'un élément optique diffractif mono-élément (DOE), capable de fournir une mesure angulaire extrêmement précise dans les régions proche visible et infrarouge. Sa conception unique garantit des données à haute résolution pour l'évaluation de divers processus sur de larges plages de longueur d'onde. TP 300 est une unité entièrement automatisée avec mouvement d'échantillon intégré, offrant un débit élevé et une précision de données supérieure. Il offre également une capacité de mesure en temps réel de sites multiples qui permet des mesures comparatives en temps réel de 24 sites d'échantillonnage au maximum. De plus, l'interface graphique intégrée facilite le fonctionnement efficace grâce à ses fonctions de contrôle simplifiées, à l'affichage des résultats de métrologie et à une capacité de stockage jusqu'à 1000 recettes. THERMA-WAVE TP 300 offre des performances et une fiabilité supérieures grâce à sa machine d'alignement à grande vitesse, à son capteur de profondeur et à son effecteur final, ainsi qu'à d'autres fonctionnalités telles que les décalages programmables des outils, les fonctions d'étalonnage automatisées et les logiciels embarqués intégrés avec des mises à jour en temps réel. Quant à ses spécifications techniques, l'outil opère à une longueur d'onde minimale de 350nm et à une ouverture numérique de 0,15, avec la capacité d'être de qualité de 25 sites de mesure dans un laisser-passer. Il a aussi une exactitude de stade X-Y de 10 μm et un repeatability de 5 μm. Dans l'ensemble, le TP 300 est un outil de test et de métrologie des plaquettes très précis qui offre une fonctionnalité et une flexibilité avancées, contribuant à garantir la qualité des produits et des données fiables pour une surveillance efficace des processus. Ce modèle offre des capacités robustes pour permettre des performances maximales et des mesures précises, ce qui en fait un choix idéal pour les fabricants de plaquettes.
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