Occasion THERMA-WAVE TP 500 #146074 à vendre en France
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Vendu
ID: 146074
Taille de la plaquette: 1997
Dose monitoring metrology system, 6" to 8"
Specifications:
Upgraded to XP in 2006
Probe and pump lasers replaced: fiber laser
Usage: processed implant wafers
(2) Open cassettes
Handler: EQUIPE robot and controller
IG byte tape drive
SECS II: GEM SECS Ver 2.06
COGNEX 5000 pattern recognition system
Back plane: Eisa Bus
Laser type:
Diode 10mW class IIIB probe laser
Diode 70mW class IIIB pump laser
Ion dose measurements: high dose
Dose range:
Boron: N/A
Phosphorous: 3E14 to 2E16
Arsenic: 1E14 to 2E16
BF2: 2E14 to 2E16
Energy range: 0.5 keV to 200 keV (all species)
TW repeatability: 0.5% 1-sigma TW
Power requirements: 110-220V, 20A
Utilities requirements: CDA 1/4", (2) vacuum 1/4" (stage, robot)
Includes service / operational manual and reference block
1997 vintage.
THERMA-WAVE TP 500 est un système d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour caractériser les matériaux de substrat de nouvelle génération. Il utilise une technologie infrarouge de pointe pour élucider les caractéristiques physiques et électriques des semi-conducteurs, des couches minces et d'autres matériaux. Ses sondes spécialisées personnalisées peuvent être facilement enfouies à la base d'un substrat de plaquette pour recueillir des données précises de cartographie thermique avec un impact minimal sur le budget thermique de l'appareil. THERMA-WAVE TP500 utilise la mesure des propriétés thermomécaniques telles que la capacité thermique, le comportement diélectrique et la résistance à la jonction thermique pour déterminer avec précision les caractéristiques vulnérables des plaquettes d'essai dans le développement rapide de nouveaux matériaux et méthodes de procédé. Sa matrice de caméras infrarouges offre la capacité de capturer des images à grande vitesse, permettant d'analyser jusqu'à 1000 points par seconde. La capacité d'enregistrer jusqu'à 80 tests différents en même temps permet une collecte de données et une métrologie extrêmement précises avec un minimum de temps et de ressources. Le gradient thermique de haute résolution de la différence de température permet d'éviter des pertes de plaquettes coûteuses dues à des défauts de matériau. De plus, les options d'entrée numérique adressables au pixel TP-500 garantissent la cohérence et la précision des résultats avec un minimum d'effort. L'analyse avancée des données, la synchronisation et les rapports donnent à l'utilisateur des informations détaillées sur les performances de leurs appareils et processus. En outre, TP500 offre un large éventail d'avantages à l'utilisateur. Sa compatibilité avec diverses plates-formes basées sur PC permet une intégration facile dans les systèmes existants. Son temps d'enregistrement et d'acquisition rapide et en ligne réduit le temps et les coûts associés à l'enregistrement des données. Son mode d'analyse identifie rapidement les points faibles ou les erreurs dans les résultats et permet à l'utilisateur de modifier rapidement ses processus ou son matériel pour les atténuer immédiatement. Dans l'ensemble, le TP 500 est un puissant système de test et de métrologie des matériaux de wafer. Il peut être facilement intégré dans les systèmes existants et est capable de saisir les détails les plus complexes dans un court laps de temps. Grâce à ses capacités de mesure de précision et à son analyse détaillée des données, il est un outil puissant de caractérisation des matériaux dans le développement rapide de matériaux de substrat de prochaine génération.
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