Occasion VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293756643 à vendre en France
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VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes utilisant une méthode sans contact à base de stylet. Il est conçu pour caractériser les matériaux avant et après le traitement et pour mesurer la topographie de surface à l'échelle nanométrique, la rugosité de surface et l'épaisseur. VEECO DEKTAK XT utilise la technologie de microscopie à force atomique (AFM), qui détecte les forces entre la sonde et la surface et fournit des images topographiques 3D de la surface de l'échantillon. Le système standard offre un étage 3 axes pour le positionnement des échantillons, avec une course maximale standard de 100 × 100 mm et une vitesse maximale de 0,5 mm/s. L'actionneur vertical fournit une distance de course allant jusqu'à 24,3 mm et comprend un détecteur de contact de surface pour mesurer avec précision les mesures de décrochage et l'épaisseur des échantillons stratifiés. La résolution typique est de 0,05 micron dans la direction Z (verticale). La tête de balayage de l'unité contient un codeur linéaire qui permet à la sonde de se déplacer efficacement et avec précision à travers l'échantillon pendant le balayage. La tête de balayage utilise une machine de détection de capacité optique intégrée et des étages bidirectionnels sans contre-réaction et possède une répétabilité de 8 microns sur toute sa distance de déplacement X/Y. L'outil comprend un ordinateur, un moniteur et un contrôleur d'équipement, ainsi qu'un logiciel pour contrôler le mouvement de la tête de balayage et du manipulateur, diffuser et enregistrer les données de balayage, et pour l'analyse des données. Étalonnage en option, étalonnage automatisé, amélioration du débit et options de mesure avancées sont disponibles. SLOAN DEKTAK XT est extrêmement précis, stable et fiable et est utilisé pour une variété d'applications, y compris les mesures d'épaisseur et de résistivité des couches minces, les études d'usure et de corrosion, les mesures de surface bifonctionnelles, et la rugosité de surface, la planéité des plaques et les études de hauteur des marches, ce qui en fait un élément essentiel de tout laboratoire d'essai et de métrologie de plaquettes.
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