Occasion VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293812083 à vendre en France

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT est un équipement d'essai et de métrologie de nouvelle génération qui fournit des mesures de surface nano-échelle 3D de haute précision. Le système est conçu pour augmenter le débit et réduire le coût de production pour les fabricants de composants microélectroniques à haut volume. L'unité utilise un profilomètre de stylet sur mesure, basé sur des contacts, pour des mesures précises, répétables et fiables. Le profil du stylet est capable de mesurer plus de 500 points différents chaque seconde. Les mesures sont effectuées directement à partir de la surface de la plaquette, ce qui permet une grande précision et répétabilité. La machine offre également son aligneur de plaquettes automatisé (AWA) pour un positionnement de haute précision, rapide et précis de la plaquette dans la bonne position pour les mesures de champ de balayage. L'AWA est conçu pour effectuer des corrections en temps réel afin de s'assurer que le stylet est toujours en contact avec le même point de surface sur les différentes filières individuelles sur une plaquette lors de balayages successifs. En plus de ses composants matériels, l'outil comprend une variété d'applications logicielles pour faciliter les essais de plaquettes et la métrologie. Par exemple, son application de mesure à plusieurs niveaux permet des mesures très précises et répétables. Le modèle de reconnaissance automatisée des fonctionnalités (AFR) de l'actif fonctionne en conjonction avec cette application, pour détecter rapidement et avec précision les caractéristiques critiques des wafers. L'équipement comprend également l'application de détection et d'examen des bords à grande vitesse (EDR). Ces caractéristiques permettent aux opérateurs de revoir rapidement les conditions de bord et les particules et contaminants à haute résolution spatiale sur les plaquettes en quelques secondes. Le système dispose également d'une unité complète d'identification/classification des caractéristiques (FIC) pour identifier et classifier rapidement divers types de caractéristiques. La machine VEECO DEKTAK XT permet de réduire considérablement le temps et les coûts de production pour diverses applications. Il utilise des technologies et des outils de pointe pour mesurer rapidement et avec précision les caractéristiques nanométriques des plaquettes. Ses technologies automatisées d'alignement et de reconnaissance des caractéristiques ouvrent la voie à des essais de plaquettes et à une métrologie plus rapides. En tant que telle, c'est une excellente solution pour les fabricants de composants microélectroniques à haut volume qui souhaitent mesurer rapidement et avec précision les caractéristiques nano-échelle sur les plaquettes.