Occasion VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 330 #9379227 à vendre en France
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VEECO Dimensions VX 330 est un équipement d'essai et de métrologie avancé conçu pour répondre aux exigences strictes de la production de semi-conducteurs. Utilisant un matériel de mesure de précision puissant, une optique microscopique avancée et une électronique vidéo moderne, le système permet une mesure rapide et précise des plaquettes et des échantillons. L'unité dispose d'une plate-forme de mouvement trois axes précise, offrant une précision de balayage répétable sur une grande zone de travail, avec une résolution X-Y-Z jusqu'à trois nanomètres. Une caméra haute résolution peut capturer des données d'image à une résolution allant jusqu'à 6 microns. Les capacités automatisées de zoom et de ciblage des bords permettent une grande précision et un alignement à grande vitesse des mesures. La machine dispose également d'un étage d'échantillons de graphite/céramique haute performance qui peut accueillir des plaquettes de 150 et 200 mm. Utilisant des actionneurs piézo hybrides brevetés, la scène présente des caractéristiques exceptionnelles de linéarité et d'hystérésis pour des résultats stables et reproductibles. L'autodiagnostic et le nivellement actif rendent la plaquette changeante rapide et précise. Le VX 330 est livré avec un logiciel d'analyse avancé, traitant d'un large éventail d'applications de métrologie de surface, de la planéité des plaquettes, des mesures de dimensions critiques (CD) et des résultats de superposition, à l'imagerie 3D quantitative de contour. Les algorithmes d'imagerie 3D de qualité industrielle permettent un profilage 3D rapide et précis des échantillons complexes. Combiné à une analyse statistique complète, à des capacités de déclaration automatisées et à des outils d'archivage d'échantillons, l'outil fournit une solution complète d'essai de wafer et de métrologie pour des installations modernes d'essai de production. En outre, l'actif est architectonique et logicielle, offrant des voies de migration vers les nouvelles technologies et améliorant le débit de test et la répétabilité.
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