Occasion VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS VX 200 #9063709 à vendre en France
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ID: 9063709
Style Vintage: 2002
Atomic force profiler
Model #: DUVx200
Long scan profiles: Die length (up to 100mm)
Profile stage: up to 100mm
1μm X-Y axis repeatability
6μm vertical range
Superior step height repeatability: <5Å - 0.1μm and 1μm steps (1σ ); 20 traces at
20μm/sec scan speed
Unsurpassed lateral resolution: Low force, small tip radius (<10nm nominal)
True dishing and erosion analysis
OneScan Profiling: Zoom in on long scans without loss of resolution
High speed profiling: Up to 200μm/sec
Auto tip evaluation
Automatic exchange in ~4 minutes
24-tips per cassette
Dual cassette for different tip types
Throughput:
7wph (5 sites) for profiles
5wph (5 sites) for images
Profiler mode:
Data points/scan: 262,000
Imaging mode:
512 x 512 data points
Up to 65μm square area scans
Die scale imaging
3D visualization and analysis software
Optics:
Dual optics with 150μm and 600μm viewing area
Low magnification optics (3mm viewing area)
Capacity: 10 kA
220-25- VAC, 3.6 A
2002 vintage.
VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 200 est un équipement avancé d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour permettre aux fabricants d'effectuer des essais accélérés du cycle de vie et d'évaluer la fiabilité des dispositifs à semi-conducteurs actuels et de prochaine génération. Les capacités d'automatisation haut de gamme du système et l'outil de métrologie optiquement activé offrent une précision et une fiabilité supérieures dans le contrôle des processus et la surveillance dimensionnelle. VEECO VX 200 est conçu pour tester jusqu'à trois plaquettes à la fois, avec des tailles de plaquettes allant de 2 à 8 pouces de diamètre. En outre, la machine peut manipuler des plaquettes d'épaisseur allant de 200 à 500 microns ou de 1500 à 2500 microns. L'outil comprend une gamme de fonctionnalités, y compris un contrôleur de test automatisé de haut niveau, la prise en charge de systèmes de test assistés par ordinateur à haut débit (CAT) et une carte de sonde wafer avancée. Cette combinaison de fonctions permet un test et une mesure automatisés rapides des paramètres du processus et améliore la précision et la répétabilité des tests objectifs et de la caractérisation des fonctionnalités du dispositif. INSTRUMENTS NUMÉRIQUES Le puissant sous-système optique VX 200 est l'actif clé de l'actif, permettant la mesure et la caractérisation de caractéristiques clés telles que la taille des particules, la densité des défauts, l'alignement de la puce à la plaquette et l'épaisseur du substrat. Cette mesure et cette analyse permettent aux concepteurs d'optimiser les performances et la fiabilité. L'interface utilisateur intuitive du modèle offre un accès facile aux options avancées de contrôle de l'équipement, y compris les capacités intégrées de métrologie, les logiciels statistiques et les outils de traçabilité des processus. En outre, il dispose d'une gamme complète d'applications logicielles, permettant aux utilisateurs d'accéder facilement aux données, de calibrer les instruments et d'exécuter des tests. Le système VX 200 a été conçu pour résister aux rigueurs d'applications de test et de métrologie très exigeantes. Sa conception robuste et fiable lui permet d'être intégré dans des environnements de production modernes. L'unité est compatible avec une large gamme de systèmes de test et de métrologie, et ses diagnostics embarqués et alertes assurent un faible taux d'arrêt de la machine. Dans l'ensemble, VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 200 est un outil de pointe permettant aux fabricants d'effectuer des tests et métrologie rapides, précis et fiables des plaquettes. Sa combinaison de capacités d'automatisation et de sous-systèmes optiques puissants permet aux concepteurs d'appareils de surveiller et de caractériser les principales caractéristiques afin d'améliorer les performances et de maximiser le rendement des appareils. Sa conception robuste et fiable lui permet de résister aux exigences rigoureuses des processus de fabrication modernes.
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