Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293665803 à vendre en France
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VEECO/SLOAN DEKTAK 150 est un équipement d'essai et de métrologie utilisé pour mesurer la topographie et l'épaisseur des semi-conducteurs avec un degré élevé de précision et de précision. Ce système dispose d'une unité de suivi d'identification unique permettant aux utilisateurs de localiser les plaquettes préalablement analysées, ainsi que d'une machine autofocus intégrée pour l'alignement précis de la plaquette avec la sonde et d'un étage triaxe pour le positionnement de la plaquette lors des tests. De plus, VEECO DEKTAK 150 est capable de mesurer des plaquettes jusqu'à 6 po de diamètre et présente une plaquette à moins de 0,5 µm du positionnement de la cible. SLOAN DEKTAK 150 est un outil de test non destructif qui utilise un stylet vertical soutenu par un positionneur de charge à ressort (SLP) qui utilise la rétroaction d'un interféromètre laser de détection de position (PSI) qui permet la mesure de la topologie des plaquettes. Associé à un suivi dynamique de la portée, le DEKTAK 150 est capable d'utiliser la gamme complète du trajet du stylet à n'importe quelle plage, en maintenant l'alignement bout-à-échantillon tout en mesurant. L'actif SLP est également utilisé pour mesurer l'épaisseur de la plaquette. Pour ce faire, on utilise la boucle Z d'asservissement qui fonctionne en contrôlant la force du stylet vertical. En réglant la force désirée, le stylet vertical reste dans la même position physique que l'on règle la force appliquée. Au fur et à mesure de l'abaissement de la force, on laisse le stylet approcher des élévations plus élevées de la plaquette, ce qui permet de mesurer l'épaisseur de la plaquette. VEECO/SLOAN DEKTAK 150 est également capable de détecter des particules anormales lors de la mesure de la plaquette. Dans ce mode, l'étage 3 axes est lentement déplacé à travers la plaquette alors que le stylet continue à mesurer la topographie. Tout objet de hauteur élevée détecté par le stylet est enregistré dans le modèle et peut être analysé plus loin. VEECO DEKTAK 150 propose également une suite de programmes pour en faciliter l'utilisation. Parmi eux, le Programme d'analyse des caractéristiques, qui offre un ensemble complet de caractéristiques utilisées pour définir, analyser et comparer les variations de la topologie des wafers. Une fois définies, les caractéristiques sont traitées itérativement et catégorisées pour une analyse statistique et graphique plus poussée. SLOAN DEKTAK 150 est un outil inestimable utilisé par les fabricants de dispositifs semi-conducteurs pour les aider à développer, optimiser et diagnostiquer leur production. Ses mesures de haute précision et son ensemble polyvalent de caractéristiques en font un atout précieux pour toute personne intéressée par les essais de plaquettes et la métrologie.
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