Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 1600 #139297 à vendre en France
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VEECO/SLOAN DEKTAK 1600 est un équipement de métrologie et d'essai de plaquettes idéal pour des mesures précises et précises de métrologie de surface. VEECO DEKTAK 1600 combine imagerie avancée, systèmes de mouvement, et algorithmes logiciels pour effectuer des mesures de surface 3D haute résolution des plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour l'analyse automatisée de la rugosité, de la planéité et de la hauteur des marches afin de répondre aux exigences strictes des applications avancées de semi-conducteurs. SLOAN DEKTAK 1600 dispose d'un système optique de précision assorti à la technologie de mouvement en boucle fermée pour la plus grande précision. Cela comprend une unité d'imagerie intégrée pour le balayage de ligne, la mesure de taches de balayage et la capacité de balayage de zone. Il dispose également d'une machine automatisée de manipulation des mandrins qui assure la précision et la répétabilité de l'alignement lors de la numérisation de plusieurs sites de plaquettes. L'outil est conçu avec un étage motorisé 3 axes qui permet des mesures à pas unique jusqu'à 20 μ m en hauteur avec la meilleure répétabilité en classe de 0,1 nm. DEKTAK 1600 est capable de mesurer un large éventail d'applications et de matériaux tels que les matériaux standard, non standard et doux. VEECO/SLOAN DEKTAK 1600 est conçu avec deux modes de fonctionnement. Le mode balayage est conçu pour inspecter rapidement la surface de la plaquette afin de détecter les bosses et les étapes de la plaquette. Le mode calibré est conçu pour des mesures de précision, car il permet à l'utilisateur de définir des niveaux de puissance laser spécifiques, la vitesse, la taille du champ et la profondeur de focalisation. L'utilisateur peut saisir de nombreux paramètres de mesure en incluant le temps d'intégration, le niveau de données, le temps d'exposition, l'augmentation et compenser pour 10 - 45 mesures de résolution μm extrêmement exactes. VEECO DEKTAK 1600 dispose d'algorithmes logiciels avancés pour la métrologie, l'analyse et la cartographie des données de surface pour un contrôle plus rapide des processus. Il comprend une interface graphique Web et des rapports automatisés au niveau des plaquettes afin de permettre une analyse plus rapide des processus et un dépannage. L'acquisition et l'analyse automatisées des données éliminent également les erreurs de mesure manuelle. SLOAN DEKTAK 1600 est conçu pour une utilisation en salle blanche car il ne nécessite ni gaz, ni vide, ni liquides, ni machines-outils. Le modèle est compatible avec la plupart des systèmes d'automatisation standard de laboratoire et de salle blanche de l'industrie et se connecte directement aux PC et aux archives de données grâce à une connexion Ethernet. Il nécessite une maintenance préventive minimale et a une conception compacte pour l'intégration en usine.
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