Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #293600243 à vendre en France
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé pour mesurer la planéité de la surface des plaquettes, l'épaisseur du film et d'autres paramètres critiques des plaquettes. En tant que système d'essai et de métrologie techniquement avancé, VEECO DEKTAK 3030 fournit des résultats de haute précision pour un large éventail de paramètres, y compris l'épaisseur du film, la réflectance de surface, l'émission spectrale, la rugosité de surface et la topographie. L'unité DEKTAK est basée sur une conception modulaire qui permet plusieurs configurations. Il se compose d'un étage x-y, d'un module de mouvement d'axe z, d'un module d'interface d'échantillon et d'un module de manipulation d'échantillon d'axe z. L'étage x-y est un étage de précision à deux axes, haute vitesse, avec une résolution pouvant atteindre 12 micro-pouces et une précision de 16 à 100 nanomètres. Cet étage est piloté par une machine d'entraînement contrôlée par micromètre qui offre des performances douces et une capacité de charge importante. Le module de mouvement d'axe z est construit à partir d'une glissière étanche ferrofluide et peut se déplacer par paliers de 10 secondes d'arc. Ce module augmente la précision de mesure de l'outil en permettant une manipulation de l'échantillon en trois dimensions. Le module d'interface d'échantillon peut être utilisé avec divers porte-échantillons et facilite le chargement précis des échantillons sur SLOAN DEKTAK 3030. Il comprend un actif sous vide qui permet de manipuler des échantillons de tailles et de formes variables. Enfin, le module de manipulation de l'échantillon d'axe z permet un contrôle précis de la position de l'échantillon lors du test. Ce module comprend un actionneur linéaire multi-axes sophistiqué, des capteurs de force et de couple, et une fonction de démarrage souple. Les capacités d'essai de DEKTAK 3030 comprennent un large éventail de paramètres de plaquettes, tels que l'épaisseur du film, la réflectance de surface, l'émission spectrale, la rugosité de surface et la topographie. Le modèle est capable de mesurer les profils détaillés de rugosité du motif et l'espacement des pores, ainsi que les valeurs moyennes totales de rugosité à longue distance (TRL). Ceci permet de vérifier la planéité et la qualité de surface des plaquettes. En outre, VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 peut mesurer l'épaisseur des couches minces de 5 à 500nm, ainsi que les propriétés des couches minces telles que l'uniformité du revêtement et l'épaisseur des couches minces optiques. Dans l'ensemble, VEECO DEKTAK 3030 est un équipement polyvalent et précis pour le test et la métrologie des plaquettes et autres échantillons. Sa conception modulaire, son étage de haute précision et ses capacités de manipulation d'échantillons se combinent pour en faire un outil puissant pour vérifier la planéité des plaquettes et les propriétés des couches minces. Ce système offre aux laboratoires une solution fiable et rentable pour les essais de plaquettes et la métrologie.
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